特許

J-GLOBAL ID：200903029531672503

ウェーハ収容カセット

発明者： 大野 知博
出願人/特許権者： 株式会社ディスコ
代理人 (1件)： 秋元 輝雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-254090
公開番号（公開出願番号）：特開2000-091400
出願日： 1998年09月08日
公開日（公表日）： 2000年03月31日
要約：

【要約】【課題】 薄い大径のウェーハを収容しても中央部がたわまずに安定良く支持できると共に、ウェーハ同士の接触による割れや損傷を未然に防止できるようにしたウェーハ収容カセットを提供する。【解決手段】 ウェーハ収容カセットは、ウェーハを搬出入する開口部と、ウェーハを支持する支持部とから構成される。支持部はウェーハの外周部と重心とを含む面で支持する支持板で形成され、且つその支持板にはウェーハ搬出入手段のウェーハ保持部が挿入し得る保持部挿入領域が形成される。特に、研削後の薄い(300μm以下)半導体ウェーハを収容するのに適する。

請求項（抜粋）：

ウェーハを収容するウェーハ収容カセットであって、このウェーハ収容カセットは、ウェーハを搬出入する開口部と、ウェーハを支持する支持部とから構成されており、前記支持部はウェーハの外周部と重心とを含む面で支持するように構成されているウェーハ収容カセット。

IPC (4件)：

H01L 21/68 ,  B65D 85/86 ,  B65G 1/00 537 ,  B65G 49/07

FI (4件)：

H01L 21/68 A ,  B65G 1/00 537 Z ,  B65G 49/07 L ,  B65D 85/38 R

Fターム (17件)：

3E096AA06 ,  3E096BA16 ,  3E096BB04 ,  3E096CA02 ,  3E096DA05 ,  3E096FA09 ,  3E096FA10 ,  3F022AA08 ,  3F022BB09 ,  3F022CC02 ,  3F022DD01 ,  3F022EE05 ,  5F031BB01 ,  5F031CC13 ,  5F031CC22 ,  5F031KK01 ,  5F031MM02

引用特許：

審査官引用 (3件)

• ウエハ保持装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-274090   出願人：三菱電機株式会社
• 縦型炉用ボート
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-072685   出願人：ソニー株式会社
• ウェハ搬送用ホルダ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-153183   出願人：三菱電機株式会社