有機溶剤型感光性レジスト組成物及びレジストパターン形成方法

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-312752
公開番号（公開出願番号）：特開2000-137325
出願日： 1998年11月04日
公開日（公表日）： 2000年05月16日
要約：

【要約】【課題】感光性レジスト組成物及びレジストパターン形成方法を提供する。【解決手段】分子中に下記した構成単位B-[X]n[Y]m-B(式中、Xは式【化6】、及びYは00CHN-A-NHCOO-(R2)-で表され、Aはポリイソシアネート化合物に由来する構造単位、Bは同一もしくは異なってそれぞれの分子末端に1個以上の光重合性不飽和基を有するエーテル結合を含有してもよいヒドロキシ化合物に由来する構造単位及びR1はカルボキシル基含有ポリオール化合物に由来する構造単位、R2はポリオール化合物に由来する構造単位を示す。nは1〜10整数及びmは1〜10の整数を示す。X及び/又はYが2個以上の場合にはX及び/又はYは1個のものが相互にもしくは複数個のものが相互に結合しても構わない。)を有する光重合性ポリウレタン化合物を含有することを特徴とする有機溶剤型感光性レジスト組成物。

請求項（抜粋）：

分子中に下記した構成単位B-[X]n[Y]m-B(式中、Xは式【化1】、及びYは00CHN-A-NHCOO-(R2)-で表され、Aはポリイソシアネート化合物に由来する構造単位、Bは同一もしくは異なってそれぞれの分子末端に1個以上の光重合性不飽和基を有するエーテル結合を含有してもよいヒドロキシ化合物に由来する構造単位及びR1はカルボキシル基含有ポリオール化合物に由来する構造単位、R2はポリオール化合物に由来する構造単位を示す。nは1〜10整数及びmは1〜10の整数を示す。X及び/又はYが2個以上の場合にはX及び/又はYは1個のものが相互にもしくは複数個のものが相互に結合しても構わない。)を有する光重合性ポリウレタン化合物を含有することを特徴とする有機溶剤型感光性レジスト組成物。

IPC (7件)：

G03F 7/027 513 , C08F299/06 , C08G 18/67 , G03F 7/20 505 , G03F 7/30 , H01L 21/027 , H05K 3/00

FI (8件)：

G03F 7/027 513 , C08F299/06 , C08G 18/67 , G03F 7/20 505 , G03F 7/30 , H05K 3/00 F , H05K 3/00 G , H01L 21/30 502 R

Fターム (138件)：

2H025AA04 , 2H025AB15 , 2H025AC08 , 2H025AD01 , 2H025BC13 , 2H025BC51 , 2H025BC65 , 2H025BC66 , 2H025BC83 , 2H025BC85 , 2H025CC03 , 2H025FA17 , 2H025FA40 , 2H096AA26 , 2H096BA06 , 2H096EA04 , 2H096GA08 , 2H097AA03 , 2H097CA17 , 2H097FA02 , 2H097FA06 , 2H097JA03 , 2H097LA09 , 4J027AC04 , 4J027AE01 , 4J027AG04 , 4J027AG09 , 4J027AG13 , 4J027AG14 , 4J027AG15 , 4J027AG23 , 4J027AG24 , 4J027AG25 , 4J027AG27 , 4J027AG28 , 4J027AG33 , 4J027AG34 , 4J027AG36 , 4J027BA06 , 4J027BA17 , 4J027BA18 , 4J027BA19 , 4J027BA20 , 4J027BA21 , 4J027BA26 , 4J027BA28 , 4J027CA03 , 4J027CA04 , 4J027CA06 , 4J027CA08 , 4J027CA10 , 4J027CA25 , 4J027CA26 , 4J027CB03 , 4J027CB10 , 4J027CC04 , 4J027CC05 , 4J027CC06 , 4J027CD10 , 4J034CA03 , 4J034CA04 , 4J034CA05 , 4J034CA22 , 4J034CB03 , 4J034CB04 , 4J034CB05 , 4J034CB07 , 4J034CB08 , 4J034CC03 , 4J034CC12 , 4J034CC23 , 4J034CC26 , 4J034CC45 , 4J034CC52 , 4J034CC62 , 4J034CC65 , 4J034CD06 , 4J034CD09 , 4J034CD18 , 4J034DA01 , 4J034DB03 , 4J034DB07 , 4J034FA02 , 4J034FA04 , 4J034FB01 , 4J034FC01 , 4J034FC03 , 4J034FC04 , 4J034FC05 , 4J034FD01 , 4J034FD09 , 4J034FE04 , 4J034HA01 , 4J034HA02 , 4J034HA07 , 4J034HA08 , 4J034HA09 , 4J034HA18 , 4J034HB03 , 4J034HB08 , 4J034HB12 , 4J034HC02 , 4J034HC03 , 4J034HC09 , 4J034HC12 , 4J034HC13 , 4J034HC17 , 4J034HC18 , 4J034HC22 , 4J034HC26 , 4J034HC35 , 4J034HC45 , 4J034HC46 , 4J034HC52 , 4J034HC61 , 4J034HC64 , 4J034HC65 , 4J034HC67 , 4J034HC70 , 4J034HC71 , 4J034HC73 , 4J034JA01 , 4J034JA02 , 4J034JA14 , 4J034KA01 , 4J034KB02 , 4J034KC17 , 4J034KD02 , 4J034KE02 , 4J034LA01 , 4J034LA03 , 4J034LA05 , 4J034LA13 , 4J034LA23 , 4J034LA33 , 4J034QB11 , 4J034QC05 , 4J034RA07

引用特許：

審査官引用 (8件)

光重合可能な乾燥フィルム組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-294576 出願人：ハーキュリーズ・インコーポレーテッド
感光性樹脂組成物およびこれを用いた感光性ドライフィルム
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-211861 出願人：東京応化工業株式会社
感光性樹脂組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-135832 出願人：日本合成化学工業株式会社

全件表示

前のページに戻る