特許

J-GLOBAL ID：200903029631289286

走査型プローブ顕微鏡用探針の製造方法

発明者： 新井 豊子 ,  富取 正彦
出願人/特許権者： 独立行政法人 科学技術振興機構
代理人 (1件)： 西 義之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-074375
公開番号（公開出願番号）：特開2004-279349
出願日： 2003年03月18日
公開日（公表日）： 2004年10月07日
要約：

【課題】SPM像の分解能を決定する鍵はその探針の先鋭さ、安定度である。従来の市販探針を用いてもSPM像は取得できるが、その像の分解能を向上させ、再現性良く像を取得するためには探針を安定な形状で原子レベルで先鋭化しなければならない。【構成】走査型プローブ顕微鏡で用いられる探針先端に、加熱した原料基板からの原子移動によって該原料からなる微結晶のナノピラーを成長させることを特徴とする走査型プローブ顕微鏡用探針の製造方法。例えば、探針がシリコン単結晶であり、原料基板としてシリコン又はゲルマニウムを用いて、シリコン又はゲルマニウムのナノピラーを成長させる。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

走査型プローブ顕微鏡で用いられる探針先端に、加熱した原料基板からの原子移動によって該原料からなる微結晶のナノピラーを成長させることを特徴とする走査型プローブ顕微鏡用探針の製造方法。

IPC (4件)：

G01N13/16 ,  G01N13/12 ,  G12B21/04 ,  G12B21/08

FI (4件)：

G01N13/16 C ,  G01N13/12 D ,  G12B1/00 601B ,  G12B1/00 601D

引用特許：

審査官引用 (1件)

• カンチレバーの製造方法及びそれを備えた 走査型プローブ顕微鏡
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-058879   出願人：株式会社ニコン