特許
J-GLOBAL ID:200903029713666622
感放射線性樹脂組成物および液晶表示素子用スペーサー
発明者:
,
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出願人/特許権者:
代理人 (3件):
大島 正孝
, 勝又 秀夫
, 白石 泰三
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2007-072754
公開番号(公開出願番号):特開2008-233518
出願日: 2007年03月20日
公開日(公表日): 2008年10月02日
要約:
【課題】高感度で十分なスペーサー形状が得られ、スペーサー形成時に発生する汚染物を抑制することができ、再処理時の強アルカリ水溶液等剥離液に対する耐性や基板との密着性に優れた液晶表示素子用スペーサーを形成することができる感放射線性樹脂組成物を提供すること。【解決手段】不飽和カルボン酸および/または不飽和カルボン酸無水物と、他の不飽和化合物との共重合体、重合性不飽和化合物、光重合開始剤、および上記共重合体と熱により架橋反応しうる官能基を含有するシロキサンオリゴマーを含有する感放射線性樹脂組成物。【選択図】なし
請求項(抜粋):
[A] (a1)不飽和カルボン酸および/または不飽和カルボン酸無水物と、(a2)他の不飽和化合物との共重合体、
[B]重合性不飽和化合物、
[C]光重合開始剤、ならびに
[D]オキシラニル基、オキセタニル基、エピスルフィド基、ビニル基、アリル基、(メタ)アクリロイル基、カルボキシル基、ヒドロキシル基、メルカプト基、イソシアネート基、アミノ基、ウレイド基およびスチリル基の群から選ばれる少なくとも1種の官能基を含有するシロキサンオリゴマー
を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。
IPC (5件):
G03F 7/075
, G03F 7/033
, G03F 7/40
, G03F 7/20
, G02F 1/133
FI (5件):
G03F7/075 501
, G03F7/033
, G03F7/40 501
, G03F7/20 501
, G02F1/1339 500
Fターム (37件):
2H025AA01
, 2H025AA08
, 2H025AA14
, 2H025AB11
, 2H025AB14
, 2H025AC01
, 2H025AD01
, 2H025BC14
, 2H025BC43
, 2H025BC45
, 2H025CA03
, 2H025CA07
, 2H025CA28
, 2H025CA30
, 2H025CB13
, 2H025CB14
, 2H025CB16
, 2H025CB30
, 2H025CB43
, 2H025CC04
, 2H025CC17
, 2H025FA17
, 2H025FA29
, 2H089LA09
, 2H089MA07X
, 2H089NA14
, 2H089QA16
, 2H096AA28
, 2H096BA05
, 2H096CA14
, 2H096CA16
, 2H096EA02
, 2H096GA09
, 2H096HA01
, 2H096JA04
, 2H097FA04
, 2H097LA12
引用特許:
審査官引用 (5件)
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アルカリ可溶性感光性樹脂組成物
公報種別:公開公報
出願番号:特願平8-325508
出願人:新日鐵化学株式会社, 新日本製鐵株式会社
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ブラックレジスト用感放射線性組成物
公報種別:公開公報
出願番号:特願2004-237448
出願人:国立大学法人東京工業大学, JSR株式会社
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感光性樹脂組成物
公報種別:公開公報
出願番号:特願2006-045676
出願人:三洋化成工業株式会社
-
感光性樹脂組成物
公報種別:公開公報
出願番号:特願2006-296791
出願人:三洋化成工業株式会社
-
感光性樹脂組成物
公報種別:公開公報
出願番号:特願2006-296855
出願人:三洋化成工業株式会社
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