精密工業部品の形状および幾何学的寸法を測定するための光学系

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：恩田博宣 (外1名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-558688
公開番号（公開出願番号）：特表2003-522939
出願日： 2001年01月25日
公開日（公表日）： 2003年07月29日
要約：

【要約】本発明は、試験対象物の幾何学的特性を決定するための方法を特徴とする。この方法は、第1座標系で、試験対象物の第1表面を干渉法によってプロファイルすることと、第1座標系とは異なる第2座標系で、試験対象物の第2表面を干渉法によってプロファイルすることと、第1座標系と第2座標系の間の関係を提供すること、干渉法によってプロファイルした表面、並びに第1座標系と第2座標系との間の関係に基づいて、幾何学的特性を計算することとを含む。ある実施形態では、この関係は、校正済みのゲージ・ブロックを使用することによって、または変位測定干渉計を使用することによって決定することができる。対応するシステムも説明される。

請求項（抜粋）：

試験対象物の幾何学的特性を決定する方法であって、第1基準面に対して、試験対象物の第1表面を干渉法によってプロファイルすることと、第1基準面とは異なる第2基準面に対して、第2座標系で、試験対象物の第2表面を干渉法によってプロファイルすることと、第1基準面と第2基準面との間の空間的関係を付与することと、前記干渉法によってプロファイルした表面、並びに第1基準面と第2基準面との間の空間的関係に基づいて、幾何学的特性を計算することとからなる方法。

IPC (3件)：

G01B 11/24 , G01B 11/02 , G01J 9/02

FI (3件)：

G01B 11/02 G , G01J 9/02 , G01B 11/24 D

Fターム (23件)：

2F065AA00 , 2F065AA04 , 2F065AA25 , 2F065AA30 , 2F065AA33 , 2F065AA47 , 2F065AA53 , 2F065BB05 , 2F065CC00 , 2F065FF00 , 2F065FF04 , 2F065FF51 , 2F065GG00 , 2F065GG03 , 2F065GG05 , 2F065JJ00 , 2F065JJ03 , 2F065JJ26 , 2F065LL02 , 2F065LL11 , 2F065LL12 , 2F065LL17 , 2F065LL36

引用特許：

審査官引用 (11件)

ウェーハの光学式形状測定器
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-154023 出願人：株式会社スーパーシリコン研究所, 黒田精工株式会社
傾斜入射多重スペクトル干渉計を使用する基体の厚さ測定方法および装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-235526 出願人：ヒューズ・エアクラフト・カンパニー
回折性光素子を使用するグレージング入射方式の面の干渉計測
公報種別：公表公報出願番号：特願平8-522391 出願人：トロペル・コーポレーション

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