特許
J-GLOBAL ID：200903029812519763

圧電薄膜振動子及びその周波数調整方法

発明者：
山田 由佳

山田 由佳 について

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吉田 岳人

吉田 岳人 について

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橋本 雅彦

橋本 雅彦 について

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鈴木 信靖

鈴木 信靖 について

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牧野 俊晴

牧野 俊晴 について


出願人/特許権者：
松下電器産業株式会社

松下電器産業株式会社 について


代理人 (1件)： 蔵合 正博 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-225517
公開番号（公開出願番号）：特開2003-037469
出願日： 2001年07月26日
公開日（公表日）： 2003年02月07日
要約：
【要約】【課題】 圧電薄膜振動子において、共振周波数を高い精度で微調整することができ、それによって良好な共振特性を得ること。【解決手段】 圧電薄膜振動子の最上層部に周波数調整層18’を形成し、調整層に励起エネルギーを照射することによりその一部を漸減することによって共振周波数を調整することを特徴とする。また、圧電薄膜振動子の最上層部に超微粒子を漸増しつつ堆積することによって共振周波数を調整することを特徴とする。これにより、共振周波数を微小単位で精度よく調整することで、共振周波数を正確に合わせ込むことができ、良好かつ安定な共振特性を得ることができる。
請求項（抜粋）：
基板と、圧電体薄膜と、一対の電極と、最上層部に形成され励起エネルギーを照射することによりその一部を漸減することによって共振周波数を調整する調整層とを備えていることを特徴とする圧電薄膜振動子。
IPC (4件)：
H03H 9/17 ,  H01L 41/08 ,  H01L 41/18 ,  H03H 3/04
FI (4件)：
H03H 9/17 F ,  H03H 3/04 B ,  H01L 41/08 D ,  H01L 41/18 101 Z
Fターム (9件)：
5J108BB04 ,  5J108BB07 ,  5J108BB08 ,  5J108CC11 ,  5J108FF01 ,  5J108FF11 ,  5J108HH04 ,  5J108KK05 ,  5J108NB03
引用特許：
審査官引用 (8件)
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