特許
J-GLOBAL ID：200903029814246489
電子装置の表面信号操作用プローブ及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
三木 久巳
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-116939
公開番号（公開出願番号）：特開2000-227435
出願日： 1999年03月19日
公開日（公表日）： 2000年08月15日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 走査型プローブ顕微鏡に使用できる高分解能で高剛性・高曲げ弾性のプローブを実現し、高分解能の表面原子像を撮像する。また、高密度の磁気情報処理装置に使用できる高精度の入出力用プローブを実現する。【解決手段】 電子装置の表面信号操作用プローブは、ナノチューブ24と、このナノチューブ24を保持するホルダー2aと、ナノチューブ24の先端部24aを突出させた状態でその基端部24bをホルダー面に固着させる固定手段から構成され、ナノチューブ24の先端部24aを探針として使用する。また、固定手段の一例としてコーティング膜29を形成する。中間部24cにもコーティング膜を形成すると、探針強度と分解能が増加する。ナノチューブにはカーボンナノチューブ(CNT)、BCN系ナノチューブ、BN系ナノチューブ等の一般のナノチューブを使用できる。
請求項（抜粋）：
ナノチューブ24と、このナノチューブ24を保持するホルダー2aと、前記ナノチューブ24の先端部24aを突出させた状態でその基端部24bをホルダー面に固着させる固定手段から構成され、前記先端部24aを探針として表面信号を走査することを特徴とした電子装置の表面信号走査用プローブ。
IPC (3件)：
G01N 37/00
, C01B 31/02 101
, G11B 5/127
G01N 37/00 C
, G01N 37/00 G
, G01N 37/00 Y
, C01B 31/02 101 F
, G11B 5/127 A
, G11B 5/127 F
