特許
J-GLOBAL ID：200903029836685958
プラズマディスプレイパネル用基板の検査方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
岩橋 文雄
, 坂口 智康
, 内藤 浩樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-227970
公開番号（公開出願番号）：特開2006-049078
出願日： 2004年08月04日
公開日（公表日）： 2006年02月16日
要約：
【課題】容易かつ確実に誘電体層中に存在する気泡の三次元空間内における位置を検出して良否判定ができるプラズマディスプレイパネル用基板の検査方法を提供する。【解決手段】プラズマディスプレイパネル用の基板に同軸落射照明を用いて光を照射し、そのときの反射光を光学センサーで検出するステップ1と、ステップ1で得られたデータを解析することにより、欠陥部を抽出し欠陥部の特性データを求めるステップ2と、前記基板に斜方照明を用いて光を照射し、そのときの反射光を光学センサーで検出するステップ3と、ステップ3で得られたデータを解析することにより、欠陥部を抽出し欠陥部の特性データを求めるステップ4と、ステップ2およびステップ4でそれぞれ抽出した欠陥部の位置を同定し、同じ位置の欠陥部の特性データを用いて誘電体層を評価するステップ5とを有する。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
ガラス基板上に複数の電極が形成され、この複数の電極を覆うように誘電体層が形成されたプラズマディスプレイパネル用の基板の検査方法において、プラズマディスプレイパネル用の基板に同軸落射照明を用いて光を照射し、そのときの反射光を光学センサーで検出するステップ1と、ステップ1で得られたデータを解析することにより、欠陥部を抽出し欠陥部の特性データを求めるステップ2と、前記基板に斜方照明を用いて光を照射し、そのときの反射光を光学センサーで検出するステップ3と、ステップ3で得られたデータを解析することにより、欠陥部を抽出し欠陥部の特性データを求めるステップ4と、前記ステップ2および前記ステップ4でそれぞれ抽出した欠陥部の位置を同定し、同じ位置の欠陥部の前記特性データを用いて前記誘電体層を評価するステップ5とを有することを特徴とするプラズマディスプレイパネル用基板の検査方法。
IPC (3件)：
H01J 9/42
, G01M 11/00
, H01J 11/02
H01J9/42 A
, G01M11/00 T
, H01J11/02 B
2G086EE12
, 5C012AA09
, 5C012BE03
, 5C040FA01
, 5C040FA04
, 5C040GB03
, 5C040GB14
, 5C040GD09
, 5C040GD10
, 5C040JA26
, 5C040MA23
