特許
J-GLOBAL ID：200903029898501977
シート切断装置及び切断方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山口 義雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-138688
公開番号（公開出願番号）：特開2007-307655
出願日： 2006年05月18日
公開日（公表日）： 2007年11月29日
要約：
【課題】 ウエハ等の板状部材に貼付されたシートを板状部材の形状に合わせて切断する際に、ノッチ等の細部形状部が存在していても、これに対応した切り込みを先行して形成し、その後に、板状部材の形状に合わせてシートを切断するシート切断装置及びその方法を提供する。【解決手段】外周部分に略V字状のノッチNを有するウエハWをシートSの貼付対象としたときに、前記シートSをウエハWに貼付する前に、ノッチNに対応する切り込みPCを細部切断ユニット200で形成する。切り込みPCが形成されたシートSがウエハW上に供給されてプレスロール14で押圧することで切り込みPCがノッチNに対応した位置で貼付され、当該貼付後に、カッター刃16を保持するロボット17を介してウエハWの外周に沿って切断を行うことで、当該ウエハWの形状に合わせてシートSの切断を行うことができる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
外周部分及び/又は面内に細部形状部を有する板状部材を支持した状態で、当該板状部材の外周からはみ出る大きさのシートを板状部材に貼付した後に、切断手段を介してシートを板状部材の形状に合わせて切断するシート切断装置において、
前記切断手段は、前記シートを板状部材に貼付する前の段階で前記細部形状部に略対応した切り込みを当該シートに形成する細部切断ユニットと、前記シートを板状部材に貼付した状態で前記細部を除く外周に対応してシートを切断する外周切断ユニットとを備えていることを特徴とするシート切断装置。
IPC (3件)：
B26D 11/00
, B26D 3/10
, B26D 3/14
B26D11/00
, B26D3/10 C
, B26D3/14
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (6件)
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