走査型露光装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：伊東哲也 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-245449
公開番号（公開出願番号）：特開平10-074684
出願日： 1996年08月29日
公開日（公表日）： 1998年03月17日
要約：

【要約】【課題】より高解像度の露光をより余裕をもって実現する。【解決手段】原版のパターンの一部を投影光学系を介して基板に投影し、該投影光学系の光軸に対し垂直に前記原版と基板を共に走査することにより前記原版のパターンを前記基板に露光する走査型の露光装置において、前記原版の走査に伴う該原版の前記投影光学系の物面に対する光軸方向およびあおり方向のずれに応じて前記基板を保持する基板ステージを光軸方向およびあおり方向に駆動することにより前記基板を前記投影光学系の像面に位置合わせする合焦手段を設ける。

請求項（抜粋）：

原版のパターンの一部を投影光学系を介して基板に投影し、該投影光学系の光軸に対し垂直に前記原版と基板を共に走査することにより前記原版のパターンを前記基板に露光する走査型の露光装置において、前記原版の走査に伴う該原版の前記投影光学系の物面に対する光軸方向およびあおり方向のずれに応じて前記基板を保持する基板ステージを光軸方向およびあおり方向に駆動することにより前記基板を前記投影光学系の像面に位置合わせする合焦手段を設けたことを特徴とする走査型露光装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 , G03F 7/207 , G03F 9/00

FI (5件)：

H01L 21/30 518 , G03F 7/207 H , G03F 9/00 H , H01L 21/30 516 B , H01L 21/30 525 D

引用特許：

審査官引用 (5件)

露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-027324 出願人：株式会社ニコン
投影露光方法及び装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-234609 出願人：株式会社ニコン
特開昭63-012134

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