特許
J-GLOBAL ID：200903029972442376
3次元形状測定システム、同測定方法および3次元形状測定用ステージ装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人プロスペック特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-056081
公開番号（公開出願番号）：特開2005-249402
出願日： 2004年03月01日
公開日（公表日）： 2005年09月15日
要約：
【課題】複数の測定位置における立体形状データ群を合成するための座標変換係数を作業効率よく、かつ高精度で得ることを可能とする。【解決手段】ステージ装置10上に配置固定された複数の基準物体OBに関する識別パラメータおよび各定点座標値を予め入力しておき、同ステージ装置10上にワークWKを載置した状態で基準物体OBおよびワークWKの3次元形状を3次元形状測定装置20によって異なる位置から複数回測定する。そして、3次元形状測定装置20によって生成した立体形状データ群から、前記識別パラメータを用いて基準物体OBをそれぞれ特定するとともに同基準物体OBの定点座標値を計算する。次に、算出された定点座標値と前記予め入力されている定点座標値を用いて、ステージ装置10の固定座標系を基準座標系として、前記立体形状データ群を基準座標系に変換する座標変換係数を計算する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
1つまたは複数の3次元形状測定装置により測定対象物の3次元表面形状を同測定対象物に対して相対的に異なる複数の位置で測定し、測定対象物の3次元画像を任意の方向から見て表示可能な3次元形状測定システムにおいて、
複数の基準物体を上面に固定したステージを用意しておくとともに、複数の基準物体をそれぞれ識別するための識別パラメータと、前記複数の基準物体によって特定される各定点の位置を表す第1座標系の座標値とを記憶手段に予め記憶しておき、
前記ステージの上面に測定対象物を載せた状態で、前記1つまたは複数の3次元形状測定装置に、測定対象物および複数の基準物体の3次元表面形状を同測定対象物および複数の基準物体に対して相対的に異なる複数の位置で測定させ、同測定対象物および複数の基準物体の3次元表面形状を表す複数組の立体形状データ群を生成する立体形状データ群生成手段と、
前記生成した各立体形状データ群から前記識別パラメータを用いて複数の基準物体を抽出する抽出手段と、
前記各立体形状データ群に対し、前記抽出した複数の基準物体に対して予め記憶されている各定点の位置を表す第1座標系の座標値と、前記抽出された複数の基準物体に関する立体形状データ群を用いて計算された各定点の位置を表す第2座標系の座標値とにより、第2座標系の座標値を第1座標系の座標値に変換するための座標変換係数を計算する座標変換係数計算手段と、
前記測定された測定対象物の3次元表面形状を表す各立体形状データ群を、前記計算した座標変換係数を用いて第1座標系の座標値により表された各立体形状データ群に座標変換する座標変換手段と、
前記座標変換された複数の立体形状データ群を合成する合成手段と
を含むことを特徴とする3次元形状測定システム。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01B11/24 A
, G06T1/00 315
2F065AA06
, 2F065AA53
, 2F065BB05
, 2F065BB07
, 2F065DD06
, 2F065FF09
, 2F065FF41
, 2F065FF61
, 2F065FF65
, 2F065GG04
, 2F065JJ02
, 2F065JJ05
, 2F065JJ25
, 2F065LL13
, 2F065LL62
, 2F065MM04
, 2F065MM16
, 2F065PP13
, 2F065QQ25
, 2F065QQ31
, 2F065UU05
, 5B057BA02
, 5B057CA13
, 5B057CA16
, 5B057DA06
, 5B057DB03
, 5B057DC09
