ネガ型レジスト組成物

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：阿形明 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-093973
公開番号（公開出願番号）：特開平8-292564
出願日： 1995年04月19日
公開日（公表日）： 1996年11月05日
要約：

【要約】【構成】 (A)アルカリ可溶性樹脂100重量部、(B)放射線により酸を発生する化合物0.5〜20重量部、(C)N位がメチロール基又はアルコキシメチル基あるいはその両方で置換されたメラミン樹脂及び尿素樹脂の中から選ばれた少なくとも1種の架橋剤3〜70重量部及び(D)前記架橋剤に基づき5〜40重量%の、ヘキサメトキシメチルメラミン及びジメトキシメチル尿素の中から選ばれた少なくとも1種の感度向上剤を含有してなるネガ型レジスト組成物である。【効果】本発明のネガ型レジスト組成物は、従来の化学増幅型ネガ型レジストに比べ、感度及び解像度が優れ、しかも像形成露光後からPEB処理までの経時的安定性が良好なので、取り扱いやすいという利点がある。

請求項（抜粋）：

(A)アルカリ可溶性樹脂100重量部、(B)放射線により酸を発生する化合物0.5〜20重量部、(C)N位がメチロール基又はアルコキシメチル基あるいはその両方で置換されたメラミン樹脂及び尿素樹脂の中から選ばれた少なくとも1種の架橋剤3〜70重量部及び(D)前記架橋剤に基づき5〜40重量%の、ヘキサメトキシメチルメラミン及びジメトキシメチル尿素の中から選ばれた少なくとも1種の感度向上剤を含有してなるネガ型レジスト組成物。

IPC (3件)：

G03F 7/004 531 , G03F 7/004 503 , G03F 7/038 505

FI (3件)：

G03F 7/004 531 , G03F 7/004 503 , G03F 7/038 505

引用特許：

審査官引用 (5件)

ネガ型感光性組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-294623 出願人：三菱化成株式会社
特開平4-163552
特開平4-291258

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