ネガ型感放射線レジスト組成物

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：阿形明 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-101861
公開番号（公開出願番号）：特開平6-289614
出願日： 1993年04月06日
公開日（公表日）： 1994年10月18日
要約：

【要約】【構成】 (A)アルカリ可溶性樹脂、(B)アルコキシメチル化アミノ樹脂、(C)一般式【化1】(R1、R2及びR3は水素原子又は低級アルキル基、nは0又は1)で表わされるトリアジン化合物、及び場合により(D)一般式【化2】(R4及びR5は水素原子又は低級アルキル基、mは1〜3)で表わされるベンゾフェノン系化合物を含有して成るネガ型感放射線レジスト組成物である。【効果】このレジスト組成物は解像性、プロファイル形状、感度が優れ、基板からの反射光による影響を抑制できるという利点がある。

請求項（抜粋）：

(A)アルカリ可溶性樹脂、(B)アルコキシメチル化アミノ樹脂、及び(C)一般式【化1】(式中のR1、R2及びR3はそれぞれ水素原子又は低級アルキル基であり、それらはたがいに同一でも異なっていてもよく、nは0又は1である)で表わされるトリアジン化合物を含有して成るネガ型感放射線レジスト組成物。

IPC (4件)：

G03F 7/038 505 , G03F 7/029 , G03F 7/031 , H01L 21/027

引用特許：

審査官引用 (12件)

感放射線性樹脂組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-093253 出願人：日本合成ゴム株式会社
ネガ型フオトレジスト組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-268572 出願人：富士写真フイルム株式会社
特開昭63-139158

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