特許
J-GLOBAL ID：200903029996946782

リニアモータを内蔵したXYステージ装置

発明者：
壺井 孝明

壺井 孝明 について

, 
井田 英二

井田 英二 について


出願人/特許権者：
日本トムソン株式会社

日本トムソン株式会社 について


代理人 (1件)： 尾仲 一宗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-268360
公開番号（公開出願番号）：特開2004-112864
出願日： 2002年09月13日
公開日（公表日）： 2004年04月08日
要約：
【課題】このXYステージ装置は,XステージとYステージとが界磁マグネットの磁力の悪影響を受けずに高精度に摺動可能であり,組立てが容易であり,装置そのものがコンパクトに構成される。【解決手段】このXYステージ装置は,ベッド1に対して直動案内ユニット6を介してX方向に摺動自在なXステージ2及びXステージ2に対して直動案内ユニット7を介してY方向に摺動自在なYステージ3を有する。Xステージ2とYステージ3を駆動するリニアモータ4,5は,ベッド1とYステージ3に固設された一対の界磁マグネット8,10,及び界磁マグネット8,10間に形成される空隙13,15内に配置され且つXステージ2の上下面16,17に支持された一次側の電機子コイル9,11を有する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
ベッド,前記ベッドに対して第1直動案内ユニットを介してX方向に摺動自在なXステージ,及び前記Xステージに対して第2直動案内ユニットを介して前記X方向に直交するY方向に摺動自在なYステージを有し, 前記Xステージを前記ベッドに対して前記X方向に駆動する第1リニアモータは,前記ベッドの上面に固設された二次側の一対の第1界磁マグネット,及び前記第1界磁マグネット間に形成される空隙内に配置され且つ前記Xステージの下面に支持された一次側の第1電機子コイルを有し,前記第1電機子コイルに流れる電流と前記第1界磁マグネットが生じさせる磁束との電磁相互作用により前記Xステージが前記ベッドに対して相対移動し, 前記Yステージを前記Xステージに対して前記Y方向に駆動する第2リニアモータは,前記Yステージの下面に固設された二次側の一対の第2界磁マグネット,及び前記第2界磁マグネット間に形成される空隙内に配置され且つ前記Xステージの上面に支持された一次側の第2電機子コイルを有し,前記第2電機子コイルに流れる電流と前記第2界磁マグネットが生じさせる磁束との電磁相互作用により前記Yステージが前記Xステージに対して相対移動することから成るXYステージ装置。
IPC (1件)：
H02K41/03
FI (1件)：
H02K41/03 A
Fターム (10件)：
5H641BB06 ,  5H641BB15 ,  5H641BB18 ,  5H641GG03 ,  5H641GG04 ,  5H641GG07 ,  5H641HH02 ,  5H641HH06 ,  5H641JA02 ,  5H641JA09
引用特許：
審査官引用 (8件)
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