特許
J-GLOBAL ID:200903030037724361

顕微鏡接続用分光器

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 岩橋 祐司
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2007-090610
公開番号(公開出願番号):特開2008-249945
出願日: 2007年03月30日
公開日(公表日): 2008年10月16日
要約:
【課題】本発明の目的は、試料の画像モニタおよびスペクトル測定を良好に行うことのできる顕微鏡接続用分光器を提供することにある。【解決手段】顕微鏡16からの光14の結像位置に設けられ、スリット20aのサイズが二次元受光面サイズと一次元サイズとの間で変えられる入射スリット20と、前段レンズ22と、回折格子26と、該前段レンズ22よりも明るいF値の後段レンズ28と、二次元受光面30aを含む二次元検出器30と、画像モニタ用光路とスペクトル測定用光路とを切換える光路切換機構32と、を備え、二次元受光面サイズの入射スリット20を通った光である二次元像を回折格子26を外して二次元検出器30まで導光して撮像し、一次元サイズの入射スリット20を通った光である一次元像を回折格子26を通して二次元検出器30まで導光してスペクトル測定を行うことを特徴とする顕微鏡接続用分光器10。【選択図】図1
請求項(抜粋):
試料を観察して得られた光を出力する顕微鏡に接続され、該顕微鏡からの光の二次元像撮像及び該顕微鏡からの光のスペクトル測定を行うための顕微鏡接続用分光器であって、 前記顕微鏡からの光の結像位置に設けられ、該光を通すスリットのサイズが、少なくとも二次元検出器の二次元受光面と同等の二次元サイズと、スペクトル測定を行うための一次元サイズとの間で、変えられる入射スリットと、 前記入射スリットを通った光を平行光とする前段レンズと、 スペクトル測定時のみに、前記前段レンズからの平行光を受けて波長に応じた角度で光を出力する回折格子と、 前記前段レンズよりも明るいF値を有し、スペクトル測定時に前記回折格子を通した光を集光し、画像モニタ時に該回折格子を通さない光を集光する後段レンズと、 前記後段レンズにより集光された光が結像される前記二次元受光面を有する前記二次元検出器と、 前記顕微鏡からの光の二次元像を撮像するための画像モニタ用光路と、該顕微鏡からの光のスペクトル測定を行うためのスペクトル測定用光路とを切換える光路切換機構と、 を備え、 前記画像モニタ用光路は、前記顕微鏡からの光が、前記入射スリット、前記前段レンズ及び前記後段レンズを通して、前記二次元検出器に至るものを対象としており、 また、前記スペクトル測定用光路は、前記顕微鏡からの光が、前記入射スリット、前記前段レンズ、前記回折格子および前記後段レンズを通して、前記二次元検出器に至るものを対象としており、 前記画像モニタ時に、前記入射スリットのスリットを二次元サイズとし、かつ前記光路切換機構により前記画像モニタ用光路とすることにより、該入射スリットを通った光である二次元像を、該回折格子を通すことなく該二次元検出器まで導光して撮像し、 前記スペクトル測定時、前記入射スリットを一次元サイズとし、かつ光路切換機構により前記スペクトル測定用光路とすることにより、該入射スリットを通った光である一次元像を該回折格子を通して該二次元検出器まで導光してスペクトル測定を行うことを特徴とする顕微鏡接続用分光器。
IPC (2件):
G02B 21/00 ,  G01J 3/18
FI (2件):
G02B21/00 ,  G01J3/18
Fターム (21件):
2G020AA04 ,  2G020BA20 ,  2G020CB43 ,  2G020CC02 ,  2G020CC44 ,  2G020CC63 ,  2G020CD03 ,  2G020CD12 ,  2G020CD24 ,  2H052AB25 ,  2H052AC05 ,  2H052AC15 ,  2H052AC29 ,  2H052AD16 ,  2H052AD32 ,  2H052AD35 ,  2H052AD37 ,  2H052AF02 ,  2H052AF07 ,  2H052AF14 ,  2H052AF21
引用特許:
出願人引用 (1件)
  • 倒立型顕微鏡
    公報種別:公開公報   出願番号:特願2002-082015   出願人:オリンパス光学工業株式会社
審査官引用 (2件)
  • 蛍光検出装置
    公報種別:公開公報   出願番号:特願2004-185307   出願人:オリンパス株式会社
  • 走査型光学顕微鏡装置
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平11-072544   出願人:オリンパス光学工業株式会社

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