特許
J-GLOBAL ID：200903030084797555

振動ミラー及びその製造方法、光書込装置、画像形成装置

発明者：
佐藤 幸人

佐藤 幸人 について


出願人/特許権者：
株式会社リコー

株式会社リコー について


代理人 (2件)： 鈴木 誠 ,  大浦 一仁
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-174314
公開番号（公開出願番号）：特開2005-010453
出願日： 2003年06月19日
公開日（公表日）： 2005年01月13日
要約：
【課題】静電的に駆動される梁支持型振動ミラーにおいて、ミラー基板の振動時の変形を効果的に抑制するための新規な補強構造を提供する。【解決手段】第1の駆動電極208,209と第2の駆動電極223,224を備える2段電極構造の振動ミラーにおいて、ミラー基板201の裏面に絶縁膜202を形成し、この絶縁膜上に補強のためのリブ250を形成する。このリブ250によりミラー基板201の振動時の変形が抑えられる。リブはエッチングにより容易に高精度に加工することができる。第2の駆動電極とリブをシリコンのエッチング加工により同時に形成する際、リブがない場合に比べてエッチング面積の偏りが少なくなるため加工精度、製造歩留まりが向上する。【選択図】 図3
請求項（抜粋）：
ミラー基板と、該ミラー基板の対向する2辺の中央部を支持する2本の梁と、前記ミラー基板を静電的に駆動するための駆動電極とを有し、前記ミラー基板が前記梁をねじり回転軸として往復振動する振動ミラーであって、前記ミラー基板は、そのミラー面が形成された面と反対側の面に形成された絶縁膜と、該絶縁膜上に形成された補強用のリブとを有することを特徴とする振動ミラー。
IPC (4件)：
G02B26/10 ,  B41J2/44 ,  H04N1/036 ,  H04N1/113
FI (4件)：
G02B26/10 104Z ,  H04N1/036 Z ,  B41J3/00 D ,  H04N1/04 104Z
Fターム (26件)：
2C362BA17 ,  2H045AB06 ,  2H045AB10 ,  2H045AB24 ,  2H045AB73 ,  5C051AA02 ,  5C051CA07 ,  5C051DB02 ,  5C051DB04 ,  5C051DB06 ,  5C051DB07 ,  5C051DB24 ,  5C051DB30 ,  5C051DC04 ,  5C051DC07 ,  5C051DE26 ,  5C051FA01 ,  5C072AA03 ,  5C072BA02 ,  5C072BA13 ,  5C072HA02 ,  5C072HA06 ,  5C072HA14 ,  5C072HB06 ,  5C072XA01 ,  5C072XA05
引用特許：
審査官引用 (3件)

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