特許
J-GLOBAL ID：200903030096986655
透過電子顕微鏡
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
井島 藤治
, 鮫島 信重
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-020893
公開番号（公開出願番号）：特開2005-216645
出願日： 2004年01月29日
公開日（公表日）： 2005年08月11日
要約：
【課題】 広い観察領域の中で目的とする観察領域を短時間に自動的に見いだし、所望の透過電子顕微鏡像を取得することができる透過電子顕微鏡システムを実現する。【解決手段】 モンタージュ手法により、メッシュM全域で画像信号が得られたかどうかをコンピュータ5が判断する。コンピュータ5は、得られた画像に対して画像処理を施し、メッシュの中でどの位置に試料があるかを判断する。また、メッシュ全域と、コンピュータ5が判断した試料の位置の両者を重ねて俯瞰する画像をディスプレイ7に表示する。コンピュータ5は電子光学系を制御して倍率を高く変更する。この倍率は、試料の観察位置を詳細に観察するために適切な高い倍率であり、この倍率を変更した際、必要に応じて電子ビームのフォーカス調整がコンピュータ5の制御の下に自動的に行われる。その後、オペレータは、その試料の中で詳細な観察をすべき箇所をマウスによるクリックなどで指定する。【選択図】 図6
請求項（抜粋）：
透過型電子顕微鏡の像倍率を第1の倍率に設定し、この倍率で観察対象の試料が部分的に載せられたメッシュを移動させて各視野の像を取得し、取得した多数の画像データをつなぎ合わせて、観察領域であるメッシュ全域の画像を表示させ、観察領域全域の像からより高い第2の倍率で観察すべき観察箇所を任意に指定できるように構成し、メッシュの移動や電子ビームの偏向により、指定された各観察箇所を自動的に順々に透過電子顕微鏡像の視野にして撮像し、第2の高い倍率で指定された観察箇所の像をディスプレイ上に表示し、あるいは、各試料箇所の画像データを記憶するように構成した透過型電子顕微鏡システム。
IPC (3件)：
H01J37/22
, H01J37/20
, H01J37/26
H01J37/22 501A
, H01J37/22 501H
, H01J37/22 502H
, H01J37/20 A
, H01J37/26
5C001AA08
, 5C001BB07
, 5C001CC01
, 5C033SS01
, 5C033SS02
, 5C033SS09
出願人引用 (2件)
-
電子顕微鏡
公報種別：公開公報
出願番号：特願2000-212961
出願人：株式会社日立製作所
-
走査電子顕微鏡
公報種別：公開公報
出願番号：特願平10-270928
出願人：株式会社日立製作所, 日立計測エンジニアリング株式会社
審査官引用 (6件)
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