特許
J-GLOBAL ID：200903030267535754
試料調整方法及びX線評価装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井桁 貞一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-120522
公開番号（公開出願番号）：特開平9-304306
出願日： 1996年05月15日
公開日（公表日）： 1997年11月28日
要約：
【要約】【課題】 反射率曲線の形状がどのような試料であっても,全反射臨界角を任意性なく且つ高精度に決められることを目的とする。【解決手段】 1)試料表面に対するX線入射角Ψ制御用回転機構及び2つのあおり角φ1,φ2 調整用の回転機構を備える装置を使用し,試料表面に平行で且つ異なる方向でX線全反射臨界角ΨC を測定し,該試料表面と入射X線との平行からのずれを表すあおり角のずれ角Δφ1,Δφ2 と全反射臨界角との関係から該あおり角のずれ角Δφ1,Δφ2 を算出し,該あおり角のずれ角Δφ1,Δφ2 に基づいて該あおり角φ1,φ2 を補正して該試料表面と該入射X線を平行にする試料調整方法において,少なくとも3つのX線入射方位の反射率曲線から求まる入射角のずれ角δΨから前記ずれ角Δφ1,Δφ2 を算出する試料調整方法。
請求項（抜粋）：
試料表面に対するX線入射角Ψ制御用回転機構及び二つのあおり角φ1,φ2 調整用の回転機構を備える装置を使用し,試料表面に平行で且つ異なる少なくとも三つの方向でX線全反射臨界角ΨC をそれぞれ測定し,該X線全反射臨界角ΨC と,X線入射方位をパラメータとした反射率曲線から求まる入射角のずれ角δΨとから,あおり角φ1,φ2 のずれ角Δφ1,Δφ2 を算出し,該あおり角のずれ角Δφ1,Δφ2 に基づいて該あおり角φ1,φ2 を補正して,該試料表面と該入射X線との平行出しを行うことを特徴とする試料調整方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
引用特許：
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