特許
J-GLOBAL ID：200903030282040176
3軸加速度センサ及びそのZ軸依存性の補正方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
三好 秀和 (外8名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-216452
公開番号（公開出願番号）：特開2002-031644
出願日： 2000年07月17日
公開日（公表日）： 2002年01月31日
要約：
【要約】【課題】 小規模な回路構成であるにも拘わらず、X、Y及びZ軸方向といった3次元方向の正確な加速度を検出できる3軸加速度センサ及びそのZ軸依存性の補正方法を提供する。【解決手段】 X軸方向に配置された一対の静電容量素子Cx+及びCx-の容量比に基づいてX軸方向の加速度を検出する第1スイッチトキャパシタ回路41と、Y軸方向に配置された一対の静電容量素子Cy+及びCy-の容量比に基づいてY軸方向の加速度を検出する第2スイッチトキャパシタ回路42と、Z軸方向に配置された静電容量素子Czと基準容量を有する静電容量素子Crefの容量比に基づいてZ軸方向の加速度を検出する第3スイッチトキャパシタ回路43とを備えている。
請求項（抜粋）：
固定基板と可動基板との各対向面に電極を配置し、対向配置される静電容量素子を複数対設け、複数対の静電容量素子の静電容量変化に基づき前記基板面に平行に設定されたXY平面上のX軸方向及びY軸方向の加速度、及び前記XY平面に直交するZ軸方向の加速度を検出する3軸加速度センサにおいて、前記X軸方向に沿って配置されたX軸用の一対の静電容量素子の容量比に基づいて前記X軸方向の加速度を検出するX軸加速度検出手段と、前記Y軸方向に沿って配置されたY軸用の一対の静電容量素子の容量比に基づいて前記Y軸方向の加速度を検出するY軸加速度検出手段と、Z軸用静電容量素子と基準容量を有する基準静電容量素子との一対の静電容量素子の容量比に基づいて前記Z軸方向の加速度を検出するZ軸加速度検出手段と、を備えたことを特徴とする3軸加速度センサ。
IPC (3件)：
G01P 15/125
, G01P 15/18
, H01L 29/84
G01P 15/125
, H01L 29/84 Z
, G01P 15/00 K
4M112AA02
, 4M112BA07
, 4M112CA22
, 4M112CA31
, 4M112DA17
, 4M112EA02
, 4M112EA06
, 4M112EA11
, 4M112EA13
, 4M112GA03
