特許
J-GLOBAL ID：200903030313100016

表面欠陥の検出方法及び装置

発明者：
谷本 明徳

谷本 明徳 について


出願人/特許権者：
TDK株式会社

TDK株式会社 について


代理人 (3件)： 松山 圭佑 ,  高矢 諭 ,  牧野 剛博
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-096728
公開番号（公開出願番号）：特開2004-301752
出願日： 2003年03月31日
公開日（公表日）： 2004年10月28日
要約：
【課題】磁気テープ等の表面欠陥を高SNRで検出する。【解決手段】磁気テープの表面に帯状検査領域を設定し、この帯状検査領域を含む照射領域に、検査光照射装置から光La、Lbを照射して、帯状検査領域の両外側に隣接してテープ幅方向に長い帯状の光源像領域を形成し、更に、磁気テープの表面に直交し且つ光源像領域の幅方向中心線を含む第1の仮想平面に対してCCDラインカメラのカメラ光軸を傾斜角βが0<β≦10°となるように傾けて設定し、光La、Lbの照射光軸がCCDラインカメラの鏡像位置を通り且つ光出射口から帯状検査領域の幅方向中心を通る設定直線とカメラ光軸のカメラ対称光軸とのなす傾斜角αが、0<α<25°となるように設定し、CCDラインカメラでの受光信号が一定レベル以上になるとき、判定装置において欠陥検出信号を出力。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
検査対象物表面に、カメラによる検査領域を設定し、且つ、前記検査対象物の表面に、複数の光出射口からの光を入射したときの、前記検査領域を含む該光による照射領域中であって、前記検査領域の外側に隣接し、且つ、少なくとも該検査領域を間にする2個所の位置に、前記複数の光出射口の鏡像が位置するように、該光出射口を設定し、前記検査領域からの散乱光を前記カメラにより受光して、受光信号に変換し、この受光信号が前記検査領域の無欠陥部からの受光信号の強度よりも一定値以上大きいとき、前記検査対象物の表面欠陥として検出することを特徴とする表面欠陥の検出方法。
IPC (3件)：
G01N21/892 ,  G01B11/30 ,  G11B5/84
FI (3件)：
G01N21/892 Z ,  G01B11/30 A ,  G11B5/84 C
Fターム (21件)：
2F065AA49 ,  2F065BB13 ,  2F065BB15 ,  2F065CC02 ,  2F065GG16 ,  2F065HH05 ,  2F065HH12 ,  2F065JJ02 ,  2F065JJ09 ,  2F065JJ25 ,  2F065LL03 ,  2F065MM03 ,  2G051AA32 ,  2G051AA37 ,  2G051AB07 ,  2G051BB01 ,  2G051BB05 ,  2G051BB17 ,  2G051CA03 ,  2G051CA06 ,  5D112JJ03
引用特許：
審査官引用 (4件)
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