熱処理装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：浅井章弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-103458
公開番号（公開出願番号）：特開2004-307939
出願日： 2003年04月07日
公開日（公表日）： 2004年11月04日
要約：

【課題】金属汚染等のコンタミネーションの発生を確実に抑制することが可能な熱処理装置を提供する。【解決手段】処理容器4の底部より支柱を介して起立されて内部に加熱手段38が埋め込まれた載置台32の上面に被処理体Wを載置し、該被処理体に対して所定の熱処理を施すようにした熱処理装置において、前記載置台の上面、側面及び下面に、それぞれ耐熱性のカバー部材72、74、76を設ける。これにより、載置台から汚染原因となる金属原子等が熱拡散することを防止でき、従って、金属汚染及び有機汚染等の各種のコンタミネーションが発生することを防止することが可能となる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

処理容器の底部より支柱を介して起立されて内部に加熱手段が埋め込まれた載置台の上面に被処理体を載置し、該被処理体に対して所定の熱処理を施すようにした熱処理装置において、前記載置台の上面、側面及び下面に、それぞれ耐熱性のカバー部材を設けるように構成したことを特徴とする熱処理装置。

IPC (6件)：

C23C16/44 , F27D3/12 , H01L21/205 , H01L21/22 , H01L21/324 , H01L21/68

FI (7件)：

C23C16/44 J , F27D3/12 Z , H01L21/205 , H01L21/22 501A , H01L21/22 501G , H01L21/324 Q , H01L21/68 N

Fターム (26件)：

4K030KA08 , 4K030KA45 , 4K030KA47 , 4K055AA03 , 4K055AA06 , 4K055HA01 , 4K055HA15 , 4K055HA27 , 5F031CA02 , 5F031HA02 , 5F031HA07 , 5F031HA33 , 5F031HA37 , 5F031MA28 , 5F031MA29 , 5F031MA30 , 5F031MA32 , 5F031PA07 , 5F031PA26 , 5F045AA03 , 5F045AA08 , 5F045AF01 , 5F045BB06 , 5F045DP03 , 5F045DQ10 , 5F045EM09

引用特許：

審査官引用 (4件)

枚葉式の熱処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-210973 出願人：東京エレクトロン株式会社
成膜処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-351801 出願人：東京エレクトロン株式会社
加熱装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-063466 出願人：日本碍子株式会社

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