特許
J-GLOBAL ID:200903030419564100
コンデンサ内蔵パッケージ基板及びその製法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
特許業務法人アイテック国際特許事務所
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2005-022992
公開番号(公開出願番号):特開2006-210776
出願日: 2005年01月31日
公開日(公表日): 2006年08月10日
要約:
【課題】 薄膜コンデンサの電極間が短絡したとしてもコンデンサの性能を維持する。【解決手段】 高誘電体層43のピンホールPを介して電気的に短絡している第1薄膜小電極41aaと第2薄膜小電極42aaが存在している場合、第1薄膜小電極41aaには電源用ポスト61aやバイアホール61bが形成されておらず、第2薄膜小電極42aaにもグランド用ポスト62aやバイアホール62bが形成されていない。この結果、短絡している両小電極41aa,42aaは、電源用ラインともグランド用ラインとも電気的に接続されていない状態となり、電源電位やグランド電位とは独立した電位となる。したがって、薄膜コンデンサ40のうち、短絡している両小電極41aa,42aaが高誘電体層43を挟み込んでいる部分のみコンデンサの機能を失い、他の薄膜小電極41a,42aが高誘電体層43を挟み込んでいる部分はコンデンサの機能を維持する。【選択図】 図5
請求項(抜粋):
複数の電源用パッドと、
前記電源用パッドと同一層に設けられた複数のグランド用パッドと、
前記電源用パッド及び前記グランド用パッドが設けられた層と少なくとも絶縁層を介して設けられ高誘電体層と該高誘電体を挟む第1及び第2薄膜電極とを有し前記第1薄膜電極は複数の第1薄膜小電極を含んでなり前記第2薄膜電極は複数の第2薄膜小電極を含んでなる薄膜コンデンサと、
前記複数の第1薄膜小電極と前記複数の第2薄膜小電極のうち電気的に絶縁されている第1薄膜小電極及び第2薄膜小電極については一方が電源電位となるように配線すると共に他方がグランド電位となるように配線し、前記複数の第1薄膜小電極と前記複数の第2薄膜小電極のうち前記高誘電体層に生じた不要な導体部分を介して電気的に短絡している第1薄膜小電極及び第2薄膜小電極については双方がグランド電位とも電源電位とも独立した電位となるように配線する内部配線と、
を備えたコンデンサ内蔵パッケージ基板。
IPC (2件):
FI (6件):
H01L23/12 B
, H05K3/46 B
, H05K3/46 Q
, H05K3/46 W
, H05K3/46 Z
, H01L23/12 E
Fターム (32件):
5E346AA06
, 5E346AA12
, 5E346AA13
, 5E346AA15
, 5E346AA23
, 5E346AA33
, 5E346AA35
, 5E346AA43
, 5E346AA45
, 5E346BB03
, 5E346BB04
, 5E346BB06
, 5E346BB07
, 5E346BB11
, 5E346BB16
, 5E346BB20
, 5E346CC02
, 5E346CC08
, 5E346CC21
, 5E346CC32
, 5E346DD01
, 5E346DD07
, 5E346DD22
, 5E346DD31
, 5E346EE31
, 5E346FF04
, 5E346FF45
, 5E346GG28
, 5E346GG31
, 5E346GG40
, 5E346HH01
, 5E346HH33
引用特許:
出願人引用 (1件)
審査官引用 (3件)
-
多層配線基板
公報種別:公開公報
出願番号:特願平4-336453
出願人:富士通株式会社
-
中間基板
公報種別:公開公報
出願番号:特願2003-180349
出願人:日本特殊陶業株式会社
-
多層配線基板及びその製造方法並びに半導体装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平11-242071
出願人:新光電気工業株式会社
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