特許
J-GLOBAL ID:200903030449969695

基板検査装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 鈴木 由充
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2005-031445
公開番号(公開出願番号):特開2006-220427
出願日: 2005年02月08日
公開日(公表日): 2006年08月24日
要約:
【課題】 フィレットの大きさや傾き角度にばらつきがあても、いずれのフィレットにもカラーハイライト照明の光源配置に応じた色領域が分布されるようにする。【解決手段】 基板1上に実装される部品10のうち、フィレット2が急峻なものについては照明部4が低くなり、フィレット2が緩やかなものについては照明部4が高くなるように、各部品10に対する照明部4の高さを調整しながら撮像する。この高さ調整のために、あらかじめ基板のモデルを用いて高さ制御情報が教示される。この場合、ユーザーは、表示されたフィレットの画像上に各光源4R,4G,4Bに対応する色領域が適切に分布するように照明部4の高さを調整する。さらに、調整後の画像を用いて、色領域検出のためのしきい値や判定基準値などの検査データが生成され、高さ制御情報とともにティーチングテーブルに登録される。【選択図】 図6
請求項(抜粋):
検査対象の基板に対し、異なる仰角の方向からそれぞれ異なる色彩光が照射されるようにした構成の照明部を具備し、前記各光源による照明状態下で前記基板を撮像し、得られた画像を用いて基板上のはんだフィレットの状態を検査する基板検査装置において、 前記照明部の高さを調整するための調整手段を具備することを特徴とする基板検査装置。
IPC (3件):
G01N 21/956 ,  H05K 3/34 ,  H05K 13/08
FI (3件):
G01N21/956 B ,  H05K3/34 512B ,  H05K13/08 U
Fターム (17件):
2G051AA65 ,  2G051AB02 ,  2G051AB14 ,  2G051BA01 ,  2G051BA08 ,  2G051CA04 ,  2G051CB01 ,  2G051DA07 ,  2G051EA11 ,  2G051EA12 ,  2G051EA17 ,  2G051EB01 ,  2G051EB09 ,  2G051ED04 ,  5E319CD53 ,  5E319GG03 ,  5E319GG15
引用特許:
出願人引用 (7件)
全件表示
審査官引用 (6件)
全件表示

前のページに戻る