無線周波数以上で動作する電子回路をサポートするシリコン製基板を有する物品

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：三俣弘文
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-081967
公開番号（公開出願番号）：特開平10-284694
出願日： 1998年03月27日
公開日（公表日）： 1998年10月23日
要約：

【要約】【課題】高い抵抗率を有する低コストの基板を提供する。【解決手段】無線周波数以上で動作する電子回路をサポートするシリコン製基板を有する物品において、前記シリコン製基板71は、抵抗率が200Ω・cm以上の多結晶シリコン製基板であることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

無線周波数以上で動作する電子回路をサポートするシリコン製基板を有する物品において、前記シリコン製基板(71)は、抵抗率が200Ω・cm以上の多結晶シリコン製基板であることを特徴とする電子回路を含む装置。

IPC (3件)：

H01L 27/04 , H01L 21/822 , H01F 17/00

FI (2件)：

H01L 27/04 L , H01F 17/00 B

引用特許：

審査官引用 (7件)

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