特許
J-GLOBAL ID：200903030608601823

液滴塗布装置及び方法

発明者：
田中 浩二

田中 浩二 について

, 
山崎 一夫

山崎 一夫 について


出願人/特許権者：
TDK株式会社

TDK株式会社 について


代理人 (1件)： 村井 隆
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-223744
公開番号（公開出願番号）：特開2008-043910
出願日： 2006年08月21日
公開日（公表日）： 2008年02月28日
要約：
【課題】同一駆動系で駆動される保持ブロックにシリンジを複数個設けた場合に、各シリンジに設けられたニードルの相互の配列ピッチを微細に調整可能として、複数枚取りの分割基板等の塗布対象物に対する液滴塗布を高精度で能率的に実行可能とする。【解決手段】塗布対象物に対して、直交3軸であるXYZ軸方向に相対的に移動自在なシリンジ保持ブロック50と、これに設けられた複数のシリンジ31A,31Bと、シリンジ31A,31Bの先端部にそれぞれ設けられたニードル32A,32Bとを備え、シリンジ31A,31Bは、XY軸方向に相対位置調整自在であり、シリンジ31A,31Bはシリンジ保持ブロック50のXYZ軸方向の移動により同時に駆動される構成である。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
塗布対象物に対して、直交3軸であるXYZ軸方向に相対的に移動自在なシリンジ保持ブロックと、 前記シリンジ保持ブロックに設けられた複数のシリンジと、 前記複数のシリンジの先端部にそれぞれ設けられたニードルとを備え、 前記複数のシリンジは、XY軸方向に相対位置調整自在であり、 前記複数のシリンジは前記シリンジ保持ブロックのXYZ軸方向の移動により同時に駆動されることを特徴とする液滴塗布装置。
IPC (4件)：
B05C 5/00 ,  B05C 11/00 ,  B05D 3/00 ,  B05D 1/26
FI (4件)：
B05C5/00 101 ,  B05C11/00 ,  B05D3/00 D ,  B05D1/26 Z
Fターム (22件)：
4D075AC06 ,  4D075AC86 ,  4D075AC88 ,  4D075AC93 ,  4D075EA31 ,  4F041AA02 ,  4F041AA05 ,  4F041AA16 ,  4F041AB01 ,  4F041BA02 ,  4F041BA13 ,  4F041BA22 ,  4F041BA38 ,  4F041BA56 ,  4F042AA02 ,  4F042AA06 ,  4F042AA27 ,  4F042AB00 ,  4F042BA08 ,  4F042BA25 ,  4F042CB11 ,  4F042DH09
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (4件)
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