特許
J-GLOBAL ID：200903031048331228
反射体層を備えた部材およびその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
押田 良隆
, 押田 良輝
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-528726
公開番号（公開出願番号）：特表2008-510677
出願日： 2005年08月23日
公開日（公表日）： 2008年04月10日
要約：
【課題】 反射体層からなる既知の部材において、基礎二酸化珪素ガラス部材の表面は少なくとも部分的に反射体層により被覆される。前記部材は特にランプおよび反射体を製造するために用いられ、効率的で、化学的および温度的に耐性があり、かつ低廉な反射体層を備えており、少なくとも部分的に不透明な二酸化珪素ガラスからなり、拡散反射体として機能する二酸化珪素被覆を有する。【解決手段】そのような部材を製造するための本発明に基づく方法は、非晶質二酸化珪素粒子を含むスラリーを製造すること、それを基礎部材表面に塗布してスラリー層を形成すること、さらに該スラリー層を乾燥およびガラス化して二酸化珪素被覆を形成することを特徴とする。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
少なくとも部分的に反射体層により被覆された表面を持つ石英ガラスの基体からなる反射体層を備えた部材において、拡散反射体として機能し、また少なくとも部分的に不透明な二酸化珪素からなる二酸化珪素被覆層(7a、9)を設けることを特徴とする部材。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (5件)：
4G059AA11
, 4G059AB05
, 4G059AC05
, 4G059CA01
, 4G059CB09
出願人引用 (5件)
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ドイツ連邦共和国特許第DE 4022100 C1号明細書
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ドイツ連邦共和国特許公開第DE 19822829 A1号明細書
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加熱装置及びその製造方法、並びに処理装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平7-276278
出願人：東京エレクトロン株式会社, 信越化学工業株式会社
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審査官引用 (3件)
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