特許
J-GLOBAL ID：200903031108384857
磁気検出素子及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
野▲崎▼ 照夫
, 三輪 正義
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-057813
公開番号（公開出願番号）：特開2006-245229
出願日： 2005年03月02日
公開日（公表日）： 2006年09月14日
要約：
【課題】 特に、フリー磁性層の材質を改良して、ΔRAを高く維持できるとともに磁歪を低減することが可能な磁気検出素子及びその製造方法を提供することを目的としている。【解決手段】 前記フリー磁性層6にNiFeX合金層6bを形成する。前記元素Xは例えばCuである。前記フリー磁性層6に前記NiFeX合金層6bを形成することで、前記NiFeX合金層6bが形成された領域をNiFe合金で形成する場合に比べて、高ΔRAを維持しつつフリー磁性層6の磁歪を低減することが可能になる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
磁化方向が固定される固定磁性層と、前記固定磁性層に非磁性材料層を介して形成され、外部磁界により磁化方向が変動するフリー磁性層、を有する磁気検出素子において、
前記フリー磁性層の少なくとも一部は、NiFeX(元素Xは、Cu,Sc,Ti,Zn,Zr,Hf,Au,Ag,Mn,Alから選ばれる一種または二種以上の元素)合金層で形成され、
前記元素Xの平均組成比は、5原子%以上で20原子%以下の範囲内であることを特徴とする磁気検出素子。
IPC (4件)：
H01L 43/08
, G11B 5/39
, H01F 10/32
, H01L 43/12
H01L43/08 Z
, H01L43/08 M
, G11B5/39
, H01F10/32
, H01L43/12
5D034BA05
, 5E049BA16
, 5E049CB02
, 5E049DB12
