特許
J-GLOBAL ID:200903031147144502
表示装置用アレイ基板及びこのアレイ基板を備えた平面表示装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
鈴江 武彦 (外6名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-083260
公開番号(公開出願番号):特開平11-337976
出願日: 1999年03月26日
公開日(公表日): 1999年12月10日
要約:
【要約】【課題】アルミニウム配線に直接コンタクトすることを可能とし、バリアメタルを省略することができる画素電極を備えた表示装置用アレイ基板及びこのアレイ基板を備えた平面表示装置を提供することを目的とする。【解決手段】ガラス基板7上に配置されたゲート絶縁膜9上にInZnO膜によって形成された画素電極13と、この画素電極13に対して所定のタイミングで所定レベルの電圧を供給する薄膜トランジスタ6と、この画素電極13と薄膜トランジスタ6とを電気的に接続するAl膜14によって形成された接続配線部17と、を備えている。
請求項(抜粋):
絶縁性基板上にインジウム(In)と、亜鉛(Zn)と、酸素(O)とを少なくとも含む透明導電膜によって形成された複数の画素電極と、前記画素電極に対して所定のタイミングで所定レベルの電圧を供給するスイッチング素子と、前記画素電極と前記スイッチング素子とを電気的に接続するアルミニウム(A)を主体として形成された接続配線部と、を備えたことを特徴とする表示装置用アレイ基板。
IPC (4件):
G02F 1/136 500
, G09F 9/30 336
, H01L 29/786
, H01L 21/336
FI (3件):
G02F 1/136 500
, G09F 9/30 336
, H01L 29/78 612 Z
引用特許: