特許
J-GLOBAL ID：200903031518420990
窒化珪素焼結体およびその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-069131
公開番号（公開出願番号）：特開平9-227237
出願日： 1996年02月28日
公開日（公表日）： 1997年09月02日
要約：
【要約】【課題】 本発明は、窒化珪素焼結体の焼き肌面に凹部があっても、焼き肌面強度を向上させることを目的とする。【解決手段】 粒界相として希土類元素、Si、O及びNを含む化合物を有する窒化珪素焼結体において、窒化珪素焼結体の焼き肌面に存在する凹部に、β-窒化珪素の針状結晶を該凹部の30体積%以上有すること。該凹部の差し渡し最大長さが100μm以下であること。窒化珪素粉末と希土類元素酸化物粉末とからなる原料粉末を混合し成形体とし、成形体を10atm以下の不活性雰囲気下1750〜1950°Cで焼成し予備焼結体とし、予備焼結体を50atm以上の不活性雰囲気下1750〜1950°Cで本焼成する製造方法において、本焼成を窒化珪素製のケ-ス中、あるいは窒化珪素を内表面にコ-ティングした非酸化物製のケ-ス中で行うこと。
請求項（抜粋）：
窒化珪素焼結体の焼き肌面に存在する凹部に、β-窒化珪素の針状結晶を該凹部の30体積%以上有することを特徴とする窒化珪素焼結体。
IPC (2件)：
C04B 35/584
, C04B 35/593
C04B 35/58 102 C
, C04B 35/58 102 U
