表面疵検査装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：中濱泰光
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-030028
公開番号（公開出願番号）：特開2005-221391
出願日： 2004年02月06日
公開日（公表日）： 2005年08月18日
要約：

【課題】顕著な凹凸性を持たない模様状の欠陥を検出し、製品の品質検査ラインにも十分組込むことができる表面検査装置を提供する。【解決手段】被検査面13に偏光を入射する偏光光源14と、被検査面13からの反射光を異なる検光角に設定された少なくとも2以上の偏光受光手段16と、前記各偏光受光手段の光軸上で、被検査面13と各偏光受光手段16との間に設置された偏光状態調整手段15と、受光手段16で受光された偏光成分強度に基づき被検査面13の表面疵の有無を判定する判定処理手段とを備えた表面疵検査装置。さらに、偏光状態調整手段15は被検査面の正常部と疵部との偏光特性が異なるように調整された、あるいは、設定角度をそれぞれ調節された1/4波長板および偏光板からなることとすることもできる。また、偏光状態調整手段を偏光光源と被検査面との間に設置することもできる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

被検査面に偏光を入射する偏光光源と、この被検査面からの反射光を異なる検光角に設定された少なくとも2以上の偏光受光手段と、前記各偏光受光手段の光軸上で、前記被検査面と前記各偏光受光手段との間に設置された偏光状態調整手段と、該受光手段で受光された偏光成分強度に基づき前記被検査面の表面疵の有無を判定する判定処理手段と、を備えたことを特徴とする表面疵検査装置。

IPC (1件)：

G01N21/892

FI (1件)：

G01N21/892 B

Fターム (17件)：

2G051AA37 , 2G051AB02 , 2G051BA11 , 2G051BA20 , 2G051BB01 , 2G051BB07 , 2G051BB09 , 2G051CA03 , 2G051CA04 , 2G051CA07 , 2G051CB01 , 2G051CB05 , 2G051CC07 , 2G051DA06 , 2G051EA11 , 2G051EC03 , 2G051ED00

引用特許：

出願人引用 (5件)

特開昭58-204353号公報
特開昭60-228943号公報
平鋼熱間探傷装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-338135 出願人：愛知製鋼株式会社

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審査官引用 (13件)

表面疵検査装置及びその方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-357929 出願人：日本鋼管株式会社
特開昭58-204353
特開昭58-204353

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