特許

J-GLOBAL ID：200903031582367513

アークチャンバ用フィードガス発生気化器

発明者： サイモン ポヴァル ,  デイヴィッド リチャード バーギン ,  ジョン ポンテフラクト ,  マイケル ジェイ. キング
出願人/特許権者： アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド
代理人 (1件)： 長谷川 芳樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-106063
公開番号（公開出願番号）：特開2002-100298
出願日： 2001年04月04日
公開日（公表日）： 2002年04月05日
要約：

【要約】【課題】 アークチャンバのためにフィードガスを発生させるための気化器【解決手段】 イオンソースのアークチャンバのためにフィードガスを発生させるための気化器は、坩堝を有し、そしてそれは、坩堝内の材料を昇華する温度に加熱され、フィードガスとして使用するための蒸気を発生する。坩堝の加熱のための加熱要素に加え、冷却流体を受けるために坩堝に沿って伸びている冷却ダクトの形態の冷却要素が存在する。加熱要素のスイッチが切られている場合の坩堝の強制冷却は、坩堝が迅速に冷却されることを可能にし、フィードガスの供給がすぐに終了できるようにする。イオンソースが別のフィードガスへ切り替えられている場合は、これは重要である。また、坩堝を強制冷却すると同時に、加熱要素にエネルギーを与えることで、坩堝に所望の場合に低い操作温度で正確に制御されるのを可能にする。

請求項（抜粋）：

アークチャンバのためにフィードガスを発生させるための気化器であって、気化器は、材料のソースを有するように配置される細長い坩堝と、フィードガスを発生させるためにソースを加熱するヒータと、冷却流体を受ける坩堝のほぼ全ての長さに沿って伸び材料のソースを冷却するように配置される冷却ダクトとを備える気化器。

IPC (4件)：

H01J 27/08 ,  H01J 37/08 ,  H01L 21/265 603 ,  H01L 21/203

FI (4件)：

H01J 27/08 ,  H01J 37/08 ,  H01L 21/265 603 A ,  H01L 21/203 M

Fターム (4件)：

5C030DE01 ,  5F103AA06 ,  5F103BB09 ,  5F103RR02

引用特許：

審査官引用 (5件)

• 特表昭63-502384
  
• イオン源
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-193535   出願人：日新電機株式会社
• 排気方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-186241   出願人：東京エレクトロン株式会社
• セシウム導入装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-248939   出願人：日本原子力研究所
• 特表昭63-502384