ガス供給系の水分除去方法

発明者： , , , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：杉本丈夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-269676
公開番号（公開出願番号）：特開2001-153300
出願日： 2000年09月06日
公開日（公表日）： 2001年06月08日
要約：

【要約】【課題】ベーキング法を用いず、常温排気処理により吸着水分を有効に除去できるガス供給系の水分除去方法を実現する。【解決手段】本発明に係るガス供給系の水分除去方法は、ガス供給系に水分除去用ガスを流通させてガス供給系内部に残留する水分を除去する方法であって、水分除去用ガスの流通圧力は、そのガス流が粘性流になる最小圧力以上に設定され、しかも水分除去用ガスの流通温度における水の飽和蒸気圧以下に設定される点に特徴を有する。また、前記水分除去用ガスが粘性流になる条件は、ガス分子の平均自由行程がガス供給系の配管の直径より小さくなることにより判断される。このような条件下で水分除去用ガスを常温排気すれば、配管内面やバルブ・フィルター内の吸着水分を有効に除去することができる。

請求項（抜粋）：

ガス供給系に水分除去用ガスを流通させてガス供給系内部に残留する水分を除去する方法において、水分除去用ガスの流通圧力は、そのガス流が粘性流になる最小圧力以上に設定され、しかも水分除去用ガスの流通温度における水の飽和蒸気圧以下に設定されることを特徴とするガス供給系の水分除去方法。

IPC (3件)：

F17D 3/14 , B01D 53/26 , F17D 1/04

FI (3件)：

F17D 3/14 , B01D 53/26 Z , F17D 1/04

引用特許：

出願人引用 (8件)

特開平2-046726
特開平4-180567
特開昭57-031777

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審査官引用 (8件)

特開平2-046726
特開平4-180567
特開昭57-031777

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