特許
J-GLOBAL ID：200903031714281257
ボンディング装置用ツール保持構造
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
田辺 良徳
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-184579
公開番号（公開出願番号）：特開平11-016951
出願日： 1997年06月26日
公開日（公表日）： 1999年01月22日
要約：
【要約】【課題】コスト低減が図れると共に、確実にツールの下面の平行出しが行える。【解決手段】ツールホルダ10の下面にツール20がばね30を介して懸垂され、ツール20の上面は、下面21の中央を中心とする凸状の球面部22に形成され、ツールホルダ10の下面には、ツール20の球面部22と同一の半径よりなる凹状の球面部11と、球面部11に環状溝14、15が形成され、更にツールホルダ10には、環状溝14、15に連通するようにエアー穴16、17、18が形成され、エアー穴18に圧縮エアー61を供給してツール20を僅かに浮かしてフリー状態にしてツール20の平行出しを行い、その後にエアー穴18を真空吸引してツール20を真空吸着によって固定させる。
請求項（抜粋）：
ツールホルダの下面にツールがばねを介して懸垂され、前記ツールの上面は、該ツールの下面中央を中心とする凸状の球面部に形成され、前記ツールホルダの下面には、前記ツールの球面部と同一の半径よりなる凹状の球面部と、この球面部に環状溝が形成され、更にツールホルダには、前記環状溝に連通するようにエアー穴が形成され、このエアー穴に圧縮エアーを供給してツールを僅かに浮かしてフリー状態にしてツールの平行出しを行い、その後に前記エアー穴を真空吸引してツールを真空吸着によって固定させる構造よりなることを特徴とするボンディング装置用ツール保持構造。
引用特許：
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (6件)
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