特許

J-GLOBAL ID：200903031774729079

レジスト画像形成方法

発明者： 利光 恵理子
出願人/特許権者： 三菱化学株式会社
代理人 (1件)： 長谷川 曉司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-238694
公開番号（公開出願番号）：特開2005-122122
出願日： 2004年08月18日
公開日（公表日）： 2005年05月12日
要約：

【課題】 青紫レーザー感光性組成物を青紫レーザー光により露光し、現像処理してレジスト画像を形成するにおいて、高解像性を発現するレジスト画像形成方法を提供する。【解決手段】 被加工基板上に青紫レーザー感光性組成物層を有するレジスト画像形成材の該青紫レーザー感光性組成物層を青紫レーザー光により露光し、現像処理してレジスト画像を形成するにおいて、像面光量を20〜400mW/cm2 とし、且つ露光量を1〜20mJ/cm2 として露光するレジスト画像形成方法。 【選択図】なし

請求項（抜粋）：

被加工基板上に青紫レーザー感光性組成物層を有するレジスト画像形成材の該青紫レーザー感光性組成物層を青紫レーザー光により露光し、現像処理してレジスト画像を形成するにおいて、像面光量を20〜400mW/cm2 とし、且つ露光量を1〜20mJ/cm2 として露光することを特徴とするレジスト画像形成方法。

IPC (6件)：

G03F7/20 ,  G03F7/004 ,  G03F7/027 ,  G03F7/028 ,  G03F7/033 ,  H01L21/027

FI (7件)：

G03F7/20 505 ,  G03F7/004 503Z ,  G03F7/027 502 ,  G03F7/028 ,  G03F7/033 ,  H01L21/30 529 ,  H01L21/30 502R

Fターム (30件)：

2H025AB15 ,  2H025AB16 ,  2H025AB17 ,  2H025AC01 ,  2H025AC08 ,  2H025AD01 ,  2H025BC32 ,  2H025BC42 ,  2H025BC51 ,  2H025CA01 ,  2H025CA27 ,  2H025CA28 ,  2H025CA41 ,  2H025CB13 ,  2H025CB14 ,  2H025CB16 ,  2H025FA03 ,  2H025FA17 ,  2H097AA03 ,  2H097BB01 ,  2H097BB02 ,  2H097CA17 ,  2H097FA02 ,  2H097LA09 ,  2H097LA10 ,  2H097LA12 ,  5F046BA07 ,  5F046CA03 ,  5F046DA01 ,  5F046DA02

引用特許：

審査官引用 (8件)

• 平版印刷版の再生方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-382284   出願人：三菱化学株式会社, 三菱重工業株式会社
• 特開昭63-181318
  
• 特開昭63-181318
  
• 特開昭63-136041
  
• 特開平2-110462
  
• 特開平2-276239
  
• 青紫レーザー感光性組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-238699   出願人：三菱化学株式会社
• 青紫色レーザー感光性レジスト材層を有する画像形成材及びそのレジスト画像形成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-294622   出願人：三菱化学株式会社