特許
J-GLOBAL ID：200903039422917313

青紫色レーザー感光性レジスト材層を有する画像形成材及びそのレジスト画像形成方法

発明者：
浦野 年由

浦野 年由 について

, 
亀山 泰弘

亀山 泰弘 について


出願人/特許権者：
三菱化学株式会社

三菱化学株式会社 について


代理人 (1件)： 長谷川 曉司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-294622
公開番号（公開出願番号）：特開2004-086122
出願日： 2002年10月08日
公開日（公表日）： 2004年03月18日
要約：
【課題】青紫色領域のレーザー光に対して高感度であると共に、黄色灯下でのセーフライト性に優れ、更に膜厚を上げても感度が低下しない青紫色レーザー感光性レジスト材層を有する画像形成材、及びそのレジスト画像形成方法を提供する。【解決手段】被加工基板上に青紫色レーザー感光性レジスト材層を有し、その上に保護層を有する画像形成材であって、該感光性レジスト材層が390〜430nmの波長域に分光感度の極大ピークを有すると共に、波長410nmにおける画像形成可能な最小露光量〔S410 〕が10000μJ/cm2 以下であり、且つ、波長410nmにおける画像形成可能な該最小露光量〔S410 〕の波長450nmにおける画像形成可能な最小露光量〔S450 (μJ/cm2 )〕に対する比〔S410 /S450 〕が0.1以下である、青紫色レーザー感光性レジスト材層を有する画像形成材、及び、該画像形成材の感光性レジスト材層を波長390〜430nmのレーザー光により走査露光した後、現像処理するレジスト画像形成方法。【選択図】 なし
請求項（抜粋）：
被加工基板上に青紫色レーザー感光性レジスト材層を有し、その上に保護層を有する画像形成材であって、該感光性レジスト材層が390〜430nmの波長域に分光感度の極大ピークを有すると共に、波長410nmにおける画像形成可能な最小露光量〔S410 〕が200μJ/cm2 以下であり、且つ、波長410nmにおける画像形成可能な該最小露光量〔S410 〕の波長450nmにおける画像形成可能な最小露光量〔S450 (μJ/cm2 )〕に対する比〔S410 /S450 〕が0.1以下であることを特徴とする、青紫色レーザー感光性レジスト材層を有する画像形成材。
IPC (3件)：
G03F7/027 ,  G03F7/11 ,  G03F7/26
FI (3件)：
G03F7/027 501 ,  G03F7/11 501 ,  G03F7/26 501
Fターム (34件)：
2H025AA01 ,  2H025AB15 ,  2H025AB16 ,  2H025AB17 ,  2H025AC08 ,  2H025AD01 ,  2H025AD03 ,  2H025BC32 ,  2H025BC42 ,  2H025BC51 ,  2H025BF00 ,  2H025BG00 ,  2H025CA03 ,  2H025CA27 ,  2H025CA28 ,  2H025CA39 ,  2H025CB10 ,  2H025CB13 ,  2H025CB14 ,  2H025CB43 ,  2H025CB52 ,  2H025CC20 ,  2H025FA10 ,  2H025FA17 ,  2H096AA25 ,  2H096AA26 ,  2H096AA27 ,  2H096BA05 ,  2H096BA06 ,  2H096BA11 ,  2H096BA20 ,  2H096EA04 ,  2H096GA08 ,  2H096LA17
引用特許：
出願人引用 (21件)
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審査官引用 (21件)
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