特許
J-GLOBAL ID:200903031816776323
アルミナ質焼結体及びその製造方法、並びに配線基板及びその製造方法
発明者:
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出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-278092
公開番号(公開出願番号):特開2001-097767
出願日: 1999年09月30日
公開日(公表日): 2001年04月10日
要約:
【要約】【課題】1500°C以下の低温で焼成が可能であるとともに、高熱伝導、高強度かつ低誘電損失なアルミナ質焼結体を絶縁基板とし、低抵抗金属を含む配線回路層を同時焼成可能な配線基板を得る。【解決手段】セラミック絶縁基板1の表面および/または内部に配線回路層2が形成されてなる配線基板Aにおいて、セラミック絶縁基板1をアルミナを主成分とし、MnをMn2 O3 換算で2〜15重量%とSiをSiO2 換算で2〜15重量%含有し、さらに、Mg、Ca、Sr、B、Nb、Cr、Coの内から選ばれる1種以上を酸化物換算で0.1〜4重量%含有し、第4a族金属元素の含有量が酸化物換算で0.1重量%以下、相対密度が95%以上であり、且つアルミナ結晶粒子の粒界相にMnAl2 O4 およびMnSi2 O4 が析出してなる焼結体によって形成する。
請求項(抜粋):
アルミナを主成分とし、MnをMn2 O3 換算で2〜15重量%、SiをSiO2 換算で2〜15重量%、さらに、Mg、Ca、Sr、B、Nb、Cr、Coの内から選ばれる1種以上を酸化物換算で0.1〜4重量%の割合で含有し、第4a族金属元素の酸化物換算による含有量が0.1重量%以下、相対密度が95%以上であり、且つアルミナ結晶粒子の粒界相にMnAl2 O4 およびMnSi2 O4 が析出してなることを特徴とするアルミナ質焼結体。
IPC (3件):
C04B 35/111
, C04B 41/88
, H05K 1/03 610
FI (3件):
C04B 41/88 C
, H05K 1/03 610 D
, C04B 35/10 D
Fターム (22件):
4G030AA07
, 4G030AA08
, 4G030AA09
, 4G030AA20
, 4G030AA22
, 4G030AA25
, 4G030AA28
, 4G030AA35
, 4G030AA36
, 4G030AA37
, 4G030BA09
, 4G030BA20
, 4G030BA21
, 4G030CA01
, 4G030CA04
, 4G030CA05
, 4G030GA14
, 4G030GA20
, 4G030GA22
, 4G030GA26
, 4G030GA27
, 4G030PA21
引用特許:
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