特許
J-GLOBAL ID：200903031849300901
矩形基板の位置決め装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
西山 春之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-331175
公開番号（公開出願番号）：特開平9-152569
出願日： 1995年11月28日
公開日（公表日）： 1997年06月10日
要約：
【要約】【課題】 矩形基板の位置決め装置において、ユーザ要求により異なる位置決めの基準ラインの変化に容易に対応可能とする。【解決手段】 矩形状の基板チャック1の相隣り合う直交二辺の各辺の近傍には該基板チャックの上面に保持された矩形基板2の相隣り合う直交二辺の各辺の周縁を光学的に検出するエッジセンサ3a,3b;3c,3dを所定距離だけ離して2個ずつ配置すると共に、上記2個ずつのエッジセンサで検出した矩形基板2の直交二辺の周縁の位置信号を取り込んでそのX方向,Y方向の位置及びθ方向の角度を認識し該矩形基板の目標位置に対して位置を補正する位置補正手段(8,9)を設け、上記矩形基板2のθ方向の角度を認識する基準ラインとして該矩形基板の直交二辺のどちらの辺をとるかによって上記2個ずつのエッジセンサ3a,3b;3c,3dを互いに切り換えて使用し、その矩形基板2のθ方向の角度の認識及び補正をするようにしたものである。これにより、ユーザ要求により異なる位置決めの基準ラインの変化に容易に対応することができる。
請求項（抜粋）：
X方向及びY方向の二次元の移動とθ方向の回転が可能な移動テーブルと、この移動テーブルの上面に固定され該移動テーブルによってX,Y,θ方向の移動がされると共に上面には矩形基板を載せて保持する矩形状の基板チャックとを有し、この基板チャックの上方に設けられた光学系に対して上記矩形基板を所定の目標位置に位置決めする矩形基板の位置決め装置において、上記矩形状の基板チャックの相隣り合う直交二辺の各辺の近傍には該基板チャックの上面に保持された矩形基板の相隣り合う直交二辺の各辺の周縁を光学的に検出するエッジセンサを所定距離だけ離して2個ずつ配置すると共に、上記2個ずつのエッジセンサで検出した矩形基板の直交二辺の周縁の位置信号を取り込んでそのX方向,Y方向の位置及びθ方向の角度を認識し該矩形基板の目標位置に対して位置を補正する位置補正手段を設け、上記矩形基板のθ方向の角度を認識する基準ラインとして該矩形基板の直交二辺のどちらの辺をとるかによって上記2個ずつのエッジセンサを互いに切り換えて使用し、その矩形基板のθ方向の角度の認識及び補正をするようにしたことを特徴とする矩形基板の位置決め装置。
IPC (5件)：
G02F 1/13 101
, B23Q 17/24
, G02F 1/1333 500
, G03F 9/00
, H01L 21/027
G02F 1/13 101
, B23Q 17/24 C
, G02F 1/1333 500
, G03F 9/00 H
, H01L 21/30 502 G
