特許
J-GLOBAL ID：200903031925097576

熱型赤外線検出器及び赤外線フォーカルプレーンアレイ

発明者：
石川 智広

石川 智広 について

, 
上野 雅史

上野 雅史 について


出願人/特許権者：
三菱電機株式会社

三菱電機株式会社 について


代理人 (2件)： 河宮 治 ,  石野 正弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-107677
公開番号（公開出願番号）：特開2004-317152
出願日： 2003年04月11日
公開日（公表日）： 2004年11月11日
要約：
【課題】高感度かつ低雑音な新規な構造の熱型赤外線検出器を提供すること。【解決手段】基板105上に、赤外線吸収による温度変化に応じて電気特性が変化する温度センサ103と、温度センサ103を断熱的に支持すると共に温度センサ103から電気信号を読み出す配線となる断熱支持脚102と、温度センサ103に熱的に接触して形成された赤外線吸収層101を備える。温度センサ103と断熱支持脚102と赤外線吸収層101とが、互いに空間的に分離した異なる平面内に形成されている。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
基板上に、赤外線吸収による温度変化に応じて電気特性が変化する温度センサと、前記温度センサを断熱的に支持すると共に前記温度センサから電気信号を読み出す配線となる断熱支持脚と、前記温度センサに熱的に接触して形成された赤外線吸収層を備えた熱型赤外線検出器であって、 前記温度センサと前記断熱支持脚と前記赤外線吸収層とが、互いに空間的に分離した異なる平面内に形成されていることを特徴とする熱型赤外線検出器。
IPC (5件)：
G01J1/02 ,  G01J5/02 ,  G01J5/48 ,  H01L27/14 ,  H01L37/00
FI (6件)：
G01J1/02 C ,  G01J1/02 Q ,  G01J5/02 C ,  G01J5/48 A ,  H01L37/00 ,  H01L27/14 K
Fターム (20件)：
2G065AB02 ,  2G065BA12 ,  2G065BA14 ,  2G065BA34 ,  2G065BC02 ,  2G065BE08 ,  2G065CA13 ,  2G065CA21 ,  2G065DA18 ,  2G065DA20 ,  2G066BA09 ,  2G066BA55 ,  2G066BA60 ,  2G066BB09 ,  2G066BB11 ,  2G066CA02 ,  4M118AB01 ,  4M118BA06 ,  4M118CA03 ,  4M118CB12
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (1件)

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