搬出入装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：佐々木功 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-087610
公開番号（公開出願番号）：特開2002-289673
出願日： 2001年03月26日
公開日（公表日）： 2002年10月04日
要約：

【要約】【課題】搬出入装置を用いて板状物を搬出または搬入する場合において、板状物が収容される装置や搬出入装置の調整等の煩雑な作業をすることなく確実かつ円滑に板状物を搬出入する。【解決手段】カセット70内に収容された板状物W1、W2、・・・を搬出し、または板状物をカセット70内に搬入する搬出入装置10において、板状物を吸引保持する保持部11と、保持部11をカセット内に進入させまたはカセット内から退避させる屈曲アーム16とを少なくとも備え、保持部11を、駆動部12により屈曲アーム16の進退方向を回転中心として所要角度回転可能に構成すると共に、俯方向及び仰方向に俯仰動可能に構成する。

請求項（抜粋）：

カセット内に収容された板状物を搬出し、または板状物をカセット内に搬入する搬出入装置であって、板状物を吸引保持する保持部と、該保持部をカセット内に進入させまたはカセット内から退避させる屈曲アームとを少なくとも備え、該保持部は、駆動部により該屈曲アームの進退方向を回転中心として所要角度回転可能に構成されると共に、俯方向及び仰方向に俯仰動可能に構成される搬出入装置。

IPC (6件)：

H01L 21/68 , B25J 9/06 , B25J 15/06 , B25J 17/02 , B65G 1/00 547 , B65G 49/07

FI (7件)：

H01L 21/68 B , H01L 21/68 F , B25J 9/06 D , B25J 15/06 M , B25J 17/02 A , B65G 1/00 547 B , B65G 49/07 D

Fターム (61件)：

3C007AS03 , 3C007BS15 , 3C007BT01 , 3C007CV07 , 3C007CW07 , 3C007CY02 , 3C007CY03 , 3C007CY39 , 3C007DS03 , 3C007ES02 , 3C007ET02 , 3C007EV02 , 3C007EV13 , 3C007EV17 , 3C007EV19 , 3C007EW14 , 3C007FS01 , 3C007FT11 , 3C007HS04 , 3C007HS27 , 3C007HT20 , 3C007HT36 , 3C007KS20 , 3C007KS29 , 3C007KS31 , 3C007KV04 , 3C007KX08 , 3C007LV05 , 3C007MS14 , 3C007MS28 , 3C007NS09 , 3C007NS13 , 3F022AA08 , 3F022CC02 , 3F022EE05 , 3F022KK10 , 3F022KK18 , 3F022MM70 , 3F022NN01 , 3F022NN13 , 3F022QQ05 , 5F031CA02 , 5F031DA01 , 5F031GA08 , 5F031GA36 , 5F031GA43 , 5F031GA46 , 5F031GA47 , 5F031GA49 , 5F031JA02 , 5F031JA06 , 5F031JA09 , 5F031JA13 , 5F031JA17 , 5F031JA25 , 5F031JA32 , 5F031JA51 , 5F031KA10 , 5F031LA12 , 5F031MA13 , 5F031PA02

引用特許：

審査官引用 (5件)

薄型基板の搬送ロボット
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-243028 出願人：株式会社メックス
特開昭64-005784
特開平4-324338

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