特許
J-GLOBAL ID：200903022201451247

基板処理装置

発明者：
山本 悟史

山本 悟史 について


出願人/特許権者：
大日本スクリーン製造株式会社

大日本スクリーン製造株式会社 について


代理人 (1件)： 小野 由己男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-349495
公開番号（公開出願番号）：特開2000-174095
出願日： 1998年12月09日
公開日（公表日）： 2000年06月23日
要約：
【要約】【課題】 基板を傾斜姿勢として基板処理を行う基板処理装置の占有床面積を小さくする。【解決手段】 基板処理装置は、エッチングユニット14と、ローダ12と、基板移載ロボット20とを備えている。ローダ12は、基板Wを水平状態で搬入する。基板移載ロボット20は、ローダ12とエッチングユニット14との間で基板Wの移載を行う。この基板移載ロボット20は、基板Wを保持するハンド部21を有している。また、この基板移載ロボット20は、ハンド部21の姿勢を、水平状態で基板Wを保持する姿勢及び傾斜状態で基板Wを保持する姿勢に変えることができる。
請求項（抜粋）：
傾斜状態の基板に対して処理を行う傾斜処理ユニットを含む基板処理部と、水平状態で基板を搬入/搬出する基板搬入/搬出部と、前記基板搬入/搬出部と前記基板処理部との間で基板の移載を行うロボットであって、基板を保持する保持部を有し、基板を水平状態で保持する姿勢及び基板を傾斜状態で保持する姿勢に保持部の姿勢を変えることができる基板移載ロボットと、を備えた基板処理装置。
IPC (2件)：
H01L 21/68 ,  H01L 21/304 648
FI (2件)：
H01L 21/68 A ,  H01L 21/304 648 A
Fターム (17件)：
5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031FA01 ,  5F031FA02 ,  5F031FA07 ,  5F031FA11 ,  5F031FA12 ,  5F031FA18 ,  5F031GA08 ,  5F031GA43 ,  5F031GA46 ,  5F031GA47 ,  5F031GA48 ,  5F031GA53 ,  5F031MA23 ,  5F031MA24 ,  5F031PA18
引用特許：
審査官引用 (6件)
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