特許

J-GLOBAL ID：200903032009718057

X線回折装置およびX線回折方法

発明者： 虎谷 秀穂
出願人/特許権者： 株式会社リガク
代理人 (1件)： 鈴木 利之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-253394
公開番号（公開出願番号）：特開2009-085668
出願日： 2007年09月28日
公開日（公表日）： 2009年04月23日
要約：

【課題】平行ビーム法を用いたX線回折法において、角度分解能が優れていて、X線強度の低下が少なく、構造が簡素化されたX線回折装置およびX線回折方法を提供する。【解決手段】平行ビームのX線24を試料26に照射して、試料26からの回折X線28をミラー18で反射させてからX線検出器20で検出する。ミラー18の反射面の形状は、試料26の表面上に中心を有する等角螺旋である。反射に寄与する結晶格子面は、反射面上の任意の地点で反射面に平行になっている。X線検出器20は、回折平面に平行な平面内において1次元の位置感応型である。そして、ミラー18の反射面上の複数の異なる地点からの反射X線が、X線検出器20の複数の異なる地点にそれぞれ到達するように、ミラー18とX線検出器20との相対位置関係が定められている。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

平行ビームのX線を試料に照射して、試料からの回折X線を、回折現象を用いたミラーで反射させてからX線検出器で検出するX線回折装置において、 前記ミラーの反射面は、回折平面に平行な平面内において前記反射面上の任意の地点における反射面の接線とその任意の地点と試料とを結ぶ線分とのなす角度が一定になるように形成されていて、かつ、反射に寄与する結晶格子面が反射面上の任意の地点で反射面に平行になっていて、 前記X線検出器は、回折平面に平行な平面内において1次元の位置感応型であり、 回折平面に平行な平面内において、前記ミラーの反射面上の複数の異なる地点からの反射X線が、前記X線検出器の複数の異なる地点にそれぞれ到達するように、前記ミラーと前記X線検出器との相対位置関係が定められている、 ことを特徴とするX線回折装置。

IPC (2件)：

G01N 23/207 ,  G01N 23/201

FI (2件)：

G01N23/207 ,  G01N23/201

Fターム (8件)：

2G001AA01 ,  2G001BA22 ,  2G001CA01 ,  2G001DA02 ,  2G001EA02 ,  2G001GA01 ,  2G001MA04 ,  2G001QA01

引用特許：

出願人引用 (3件)

• X線回折分析装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-037569   出願人：理学電機工業株式会社
• X線分光器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-235485   出願人：理学電機工業株式会社
• X線分光器およびX線分光素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-240739   出願人：理学電機工業株式会社