特許
J-GLOBAL ID：200903032020914500

ポジ型感光性組成物

発明者：
藤森 亨

藤森 亨 について

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丹 史郎

丹 史郎 について

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漢那 慎一

漢那 慎一 について

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児玉 邦彦

児玉 邦彦 について


出願人/特許権者：
富士写真フイルム株式会社

富士写真フイルム株式会社 について


代理人 (1件)： 萩野 平 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-243346
公開番号（公開出願番号）：特開2001-066779
出願日： 1999年08月30日
公開日（公表日）： 2001年03月16日
要約：
【要約】【課題】現像欠陥やラインエッジラフネスが良好なポジ型感光性組成物を得る。【解決手段】(a)活性光線又は放射線の照射により酸を発生する般式(I)〜(III)の化合物の少なくとも一種(但し、R1〜R15の少なくとも1つ、R16〜R27の少なくとも1つ及びR28〜R37の少なくとも1つがヒドロキシ基又はアルコキシ基)、(b)酸の作用により分解し、アルカリ現像液中での溶解度を増大させる基を有する樹脂及び(c)塩基性含窒素化合物を含有するするボジ型感光性組成物。【化1】
請求項（抜粋）：
(a)活性光線又は放射線の照射により酸を発生する下記一般式(I)〜(III)で表される化合物の少なくとも一種、(b)酸の作用により分解し、アルカリ現像液中での溶解度を増大させる基を有する樹脂、及び(c)塩基性含窒素化合物、を含有することを特徴とするボジ型感光性組成物。【化1】(式中、R1 〜R37は水素原子、直鎖、分岐、環状アルキル基、直鎖、分岐、環状アルコキシ基、ヒドロキシ基、ハロゲン原子、または-S-R38基を表す。R38は直鎖、分岐、環状アルキル基またはアリール基を表す。但し、R1〜R15のうちの少なくとも1つ、R16〜R27のうちの少なくとも1つ及びR28〜R37のうちの少なくとも1つがヒドロキシ基又はアルコキシ基である。X-は分岐または環状の炭素数8個以上のアルキル基およびアルコキシ基の群の中から選ばれる基を少なくとも1個有するか、直鎖、分岐または環状の炭素数4〜7のアルキル基およびアルコキシ基の群の中から選ばれる基を少なくとも2個有するか、若しくは直鎖、分岐または環状の炭素数1〜3のアルキル基およびアルコキシ基の群の中から選ばれる基を少なくとも3個有するベンゼンスルホン酸、ナフタレンスルホン酸またはアントラセンスルホン酸のアニオンを表す。あるいはエステル基、R39-CO-基、R40-CONH-基、R41-NH-基、R42-OCONH-基、R43-NHCOO-基、R44-NHCONH-基、R45-NHCSN-基、R46-SO2NH-基およびニトロ基の群の中から選ばれる基を少なくとも1個有するベンゼンスルホン酸、ナフタレンスルホン酸またアンアトラセンスルホン酸のアニオンを表す。R39〜R46は直鎖、分岐もしくは環状アルキル基またはアリール基を表す。)
IPC (5件)：
G03F 7/039 601 ,  G03F 7/00 503 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/004 503 ,  H01L 21/027
FI (5件)：
G03F 7/039 601 ,  G03F 7/00 503 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/004 503 A ,  H01L 21/30 502 R
Fターム (21件)：
2H025AA03 ,  2H025AA04 ,  2H025AB15 ,  2H025AB16 ,  2H025AC08 ,  2H025AD03 ,  2H025BE07 ,  2H025BE10 ,  2H025CB14 ,  2H025CB17 ,  2H025CB45 ,  2H025CB52 ,  2H025CB55 ,  2H025CC01 ,  2H025FA17 ,  2H096AA25 ,  2H096AA26 ,  2H096BA09 ,  2H096BA11 ,  2H096EA05 ,  2H096GA08
引用特許：
審査官引用 (6件)
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