特許

J-GLOBAL ID：200903032023758347

マイクロメカニックな構成エレメント

発明者： ペーター ズルツベルガー ,  ミヒャエル オッフェンベルク
出願人/特許権者： ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング
代理人 (1件)： 矢野 敏雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-259860
公開番号（公開出願番号）：特開平10-111312
出願日： 1997年09月25日
公開日（公表日）： 1998年04月28日
要約：

【要約】【課題】 表面実装構造における機械的応力を減少させ、かつ熱的挙動を改善することのできるマイクロメカニックな構成エレメントを提供する。【解決手段】 基板1がプレート状の表面2を有するように形成されており、表面実装構造3が少なくとも2つのアンカー結合域4でもって前記表面2に固定されており、しかも前記アンカー結合域以外では前記表面2に対して隔たりをもつて、かつまた該表面2全体にわたって横方向拡がりをもって延びている形式の、基板1及び一体的な表面実装構造3を備えたマイクロメカニックな構成エレメント、特に力センサ又は加速度センサにおいて、少なくとも2つのアンカー結合域4が、表面実装構造3の横方向拡がりに対比して僅かな相互間隔を有している。

請求項（抜粋）：

基板(1)がプレート状の表面(2)を有するように形成されており、表面実装構造(3)が少なくとも2つのアンカー結合域(4)でもって前記表面(2)に固定されており、しかも前記アンカー結合域以外では前記表面(2)に対して隔たりをもつて、かつまた該表面(2)全体にわたって横方向拡がりをもって延びている形式の、基板(1)及び一体的な表面実装構造(3)を備えた、力センサ又は加速度センサのようなマイクロメカニックな構成エレメントにおいて、少なくとも2つのアンカー結合域(4)が、表面実装構造(3)の横方向拡がりに対比して僅かな相互間隔を有していることを特徴とする、マイクロメカニックな構成エレメント。

IPC (2件)：

G01P 15/125 ,  G01L 1/14

FI (2件)：

G01P 15/125 ,  G01L 1/14 A

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 角速度センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-046577   出願人：株式会社村田製作所
• 慣性レートセンサー
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-026017   出願人：ザ・チャールズ・スターク・ドレイパー・ラボラトリー・インコーポレイテッド
• 振動ジャイロの駆動方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-318158   出願人：日産自動車株式会社