特許
J-GLOBAL ID：200903032214640737
単結晶ダイヤモンド膜の形成方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
藤巻 正憲
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-315975
公開番号（公開出願番号）：特開平8-151296
出願日： 1994年11月25日
公開日（公表日）： 1996年06月11日
要約：
【要約】【目的】 単結晶のダイヤモンド膜を大面積に低コストで気相合成することができ、大面積の単結晶ダイヤモンド基板を得ることができ、ダイヤモンドを使用した幅広い応用分野において、ダイヤモンドの特性の飛躍的向上と実用化を可能にする単結晶ダイヤモンド膜の形成方法を提供する。【構成】 (111)又は(001)の結晶面を有する白金の単体又は合金を基板としてダイヤモンド膜を気相合成する。この基板は基体上に、前記(111)又は(001)の結晶面を有する白金の単体又は合金の膜が被覆されたものであっても良い。
請求項（抜粋）：
一定の結晶面を有する白金の単体又は合金を基板としてダイヤモンド膜を気相合成することを特徴とする単結晶ダイヤモンド膜の形成方法。
IPC (2件)：
引用特許：
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