焦電型赤外線センサ

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：小林良平 , 竹内尚恒
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-195626
公開番号（公開出願番号）：特開2004-037291
出願日： 2002年07月04日
公開日（公表日）： 2004年02月05日
要約：

【課題】性能が高く、作製の際に品質低下につながる熱処理工程や湿式法による薄膜形成工程が不要な、焦電型赤外線センサを提供する。【解決手段】CF3-(CH2CF2)17-I(VDFオリゴマー)から成る焦電体層23を2枚の電極22及び24で挟んで焦電型赤外線センサを構成する。焦電体層23内の温度変化によって自発分極量の変化が生じ(焦電性)、それを電圧又は電流信号として取り出すことによって赤外線を検出する。VDFオリゴマーの焦電係数は従来の赤外線センサに用いられてきた有機強誘電体の焦電係数よりも大きいため、本発明に係る焦電型赤外線センサは従来のものよりも感度が高い。また、本発明の焦電型赤外線センサでは、従来の赤外線センサの製造時に必要であった熱処理工程及び/又は湿式法による薄膜形成工程が不要であり、これらの工程による品質低下が生じない。【選択図】図4

請求項（抜粋）：

2枚の電極と、その間に設けられたCF3-(CH2CF2)n-CH3(ここで、n=10〜50)又はそのCH3基をハロゲン原子で置換した物質から成るフッ化ビニリデンオリゴマー層を有することを特徴とする焦電型赤外線センサ。

IPC (5件)：

G01J1/02 , G01J5/02 , G01J5/48 , G08B13/191 , H01L37/02

FI (7件)：

G01J1/02 Y , G01J1/02 W , G01J5/02 P , G01J5/48 F , G08B13/191 , H01L37/02 , G01V9/04 A

Fターム (24件)：

2G065AB02 , 2G065BA13 , 2G065BA14 , 2G065BA33 , 2G065BA34 , 2G065CA13 , 2G065CA21 , 2G065DA18 , 2G065DA20 , 2G066AC13 , 2G066BA02 , 2G066BA03 , 2G066BA04 , 2G066BA05 , 2G066BA55 , 2G066BB09 , 2G066BB11 , 2G066CA02 , 2G066CA08 , 5C084AA02 , 5C084AA07 , 5C084BB12 , 5C084BB32 , 5C084DD43

引用特許：

審査官引用 (2件)

赤外線センサおよびその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-302166 出願人：東レ株式会社
有機焦電圧電体の形成方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-119212 出願人：日本真空技術株式会社

引用文献：

審査官引用 (1件)

1999年(平成11年)春季第46回応用物理学関係連合講演会講演予稿集第3分冊, 19990328, p.1268

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