特許
J-GLOBAL ID：200903032360816286

プラズマ処理装置

発明者：
岩井 哲博

岩井 哲博 について

, 
永留 隆二

永留 隆二 について


出願人/特許権者：
松下電器産業株式会社

松下電器産業株式会社 について


代理人 (1件)： 岩橋 文雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-289561
公開番号（公開出願番号）：特開2001-104772
出願日： 1999年10月12日
公開日（公表日）： 2001年04月17日
要約：
【要約】【課題】 段取り替え作業を容易に行うことができるプラズマ処理装置を提供することを目的とする。【解決手段】 処理室を形成する蓋部材の内側に着脱自在に取り付けられ電極上の基板に当接して電極へ押さえつける基板押さえユニット22を備えた押さえ機構20を有するプラズマ処理装置において、基板押さえユニット22を、基板に当接する当接部27と、当接部材27を伸縮自在に支持する伸縮部26と、伸縮部26を蓋部材に対して装着する基部25とで構成し、基部25に当接部27の端面を示すエッジ線EL1と水平方向の位置が一致した位置合わせ部としてのエッジ線EL2を有する切欠を形成した。これにより、基板押さえユニット22の位置調整作業を容易に行うことができ、段取り替え作業による装置停止時間を短縮することができる。
請求項（抜粋）：
ベース部に対して密着して密閉空間である処理室を形成する蓋部材と、前記処理室内に配置されて上面に処理対象のワークが載置される電極と、前記蓋部材の内側に位置調整自在に取り付けられ蓋部材が前記ベース部に密着した状態で前記電極上のワークに当接して前記電極へ押さえつけるワーク押さえとを備え、このワーク押さえは前記ワークに当接する当接部材とこの当接部材を前記蓋部材に対して装着する基部とを有し、この基部には前記当接部材との位置の対応関係を示す位置合わせ部が形成されていることを特徴とするプラズマ処理装置。
Fターム (4件)：
4G075AA22 ,  4G075CA47 ,  4G075CA65 ,  4G075EB31
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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