特許
J-GLOBAL ID：200903087308620569
熱型赤外線検出器及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
池田 憲保
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-280678
公開番号（公開出願番号）：特開平10-122950
出願日： 1996年10月23日
公開日（公表日）： 1998年05月15日
要約：
【要約】【課題】 マイクロブリッジ構造を用いた熱型赤外線検出器において、受光部の熱的分離および赤外線吸収率向上のため、マイクロブリッジの各部の反りをサブミクロンの精度で制御する。【解決手段】 梁30および受光部29の周辺部が下方に曲がったマイクロブリッジ11は、受光部および梁が、各々曲げ応力の軸線に平行でかつ互いに非平行な二つ以上の平面で構成されている。非平行な二つ以上の平面は、互いの平面の曲げ応力に対して補強材として働くため、マイクロブリッジ11は、異なる材質および成膜条件で形成された複数の構成層で構成されているにもかかわらず、各部のたわみ量は、1μmに満たなかった。このため、マイクロブリッジ11の熱的分離が確保されたばかりでなく、赤外線反射膜18と赤外線吸収膜23の間のキャビティ長がサブミクロン単位で制御された。
請求項（抜粋）：
受光部、および、基板と前記受光部を機械的に接続する梁からなるマイクロブリッジ構造において、前記受光部が前記受光部内の曲げ応力の軸線に平行でかつ互いに非平行な二つ以上の平面で構成され、前記梁が前記梁の曲げ応力の軸線に平行でかつ互いに非平行な二つ以上の平面で構成されていることを特徴とする前記マイクロブリッジ構造を有する熱型赤外線検出器。
IPC (2件)：
FI (2件)：
引用特許：
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