気液分離膜

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出願人/特許権者： , ,
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-111961
公開番号（公開出願番号）：特開2002-263458
出願日： 2001年03月07日
公開日（公表日）： 2002年09月17日
要約：

【要約】【課題】センサを微小化した場合にも、センサボディへの接合が容易で大量生産にも適しており、膜にたわみなどが発生せずに、堅牢に保持できて、しかも十分な気体透過性を保持できるととも内部液も確実に保持できるような隔膜式化学センサ用の気液分離膜をを提供する。【解決手段】 2枚のシリコン基板を接合し、接合面のいずれかの一面に接合面に沿ってサブミクロンのレベルの浅溝を凹設して、このギャップを気体透過孔とする。各シリコン基板に設けられた気体の出入り用の貫通孔が、前記浅溝を介してのみ連通するようにして、いずれか一方のシリコン基板の貫通孔の凹設された浅溝への連接部の近傍を撥水性に処理して気液分離膜する。この結果、この気液分離膜は、良好な気体透過性を示して、良好な感度を示すともに、内部液の保持性がよく、堅牢で大量生産にも適している。

請求項（抜粋）：

2枚のシリコン基板を接合し、接合面のいずれかの一面に接合面に沿って浅溝を凹設してなり、各シリコン基板に設けられた貫通孔が、前記浅溝を介してのみ連通するようにしてなるとともに、いずれか一方のシリコン基板の貫通孔の前記凹設された浅溝への連接部の近傍を撥水性にしてなるを特徴とする気液分離膜。

IPC (4件)：

B01D 71/02 500 , B01D 69/12 , G01N 27/404 , G01N 27/416

FI (7件)：

B01D 71/02 500 , B01D 69/12 , G01N 27/30 341 D , G01N 27/30 341 U , G01N 27/30 341 G , G01N 27/30 341 J , G01N 27/46 316 Z

Fターム (11件)：

4D006GA32 , 4D006MA03 , 4D006MA08 , 4D006MB10 , 4D006MB16 , 4D006MC02X , 4D006NA31 , 4D006NA45 , 4D006NA54 , 4D006PC38 , 4D006PC80

引用特許：

審査官引用 (6件)

特開平2-115003
気体透過性膜
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-319034 出願人：株式会社潤工社
水分除去器
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-279616 出願人：三菱電機株式会社

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