表面高さ検査方法及びその検査装置並びにカラーフィルタ基板、その検査方法及びその製造方法

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高橋明夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-292528
公開番号（公開出願番号）：特開2000-121323
出願日： 1998年10月14日
公開日（公表日）： 2000年04月28日
要約：

【要約】【課題】カラーフィルタ基板におけるRGBのフィルタ表面の微小変化に伴う高さの変化を正確にかつ高速に検査し、RGBの膜厚の不良があるか否かをチェックをして表示むらが発生しない高品質の液晶表示装置を高歩留まりで製造することができるようにした表面高さ検査方法及びその検査装置並びにカラーフィルタ基板の検査方法およびその製造方法を提供することにある。【解決手段】入射角82度以上かつS偏光でシート状の可干渉光を照射し、反射光を1次元センサ上に結像し、参照光と重ねて検出し、シート方向の高さ変化を検出する。シートの方向と直角な方向に基板をスキャン移動し、シート方向にステップ移動する事により、基板全面に亘り検査可能にする。このような基板全面に亘る検査結果データを各基板、或いは基板製作のロット単位に添付する。

請求項（抜粋）：

可干渉光源により出射した可干渉光束を2分し、2分された一方の可干渉光束を移動機構上に搭載された被測定物の所望位置の表面に入射角82度以上で且つ被測定物の表面近傍で入射面内方向Vに絞り込み、入射面に直角な方向Hには広がりを持ったスリット状の照射光束で照射し、該照射によって被測定物の表面からの反射光束を結像光学系により検出アレイセンサに導き、上記2分された他方の可干渉光束をスリット状の参照光束として上記検出アレイセンサに導き、上記検出アレイセンサの受光面において導かれた参照光束を導かれた反射光束に重ねて干渉させ、上記検出アレイセンサの各絵素から得られる干渉の位相を示す信号から少なくとも被測定物のH方向に亘る表面の高さの変化を検出することを特徴とする表面高さ検出方法。

IPC (4件)：

G01B 11/06 , G01M 11/00 , G02F 1/1335 525 , H01L 21/66

FI (4件)：

G01B 11/06 G , G01M 11/00 T , G02F 1/1335 525 , H01L 21/66 P

Fターム (52件)：

2F065AA24 , 2F065AA30 , 2F065BB01 , 2F065BB17 , 2F065BB22 , 2F065CC25 , 2F065CC31 , 2F065DD06 , 2F065FF01 , 2F065FF52 , 2F065FF67 , 2F065GG02 , 2F065GG04 , 2F065GG23 , 2F065HH05 , 2F065HH08 , 2F065HH12 , 2F065JJ02 , 2F065JJ25 , 2F065LL08 , 2F065LL33 , 2F065LL35 , 2F065LL37 , 2F065LL57 , 2F065MM03 , 2F065NN06 , 2F065NN08 , 2F065NN20 , 2F065PP12 , 2F065QQ00 , 2F065QQ23 , 2F065QQ25 , 2F065RR09 , 2F065SS06 , 2F065SS11 , 2G086EE05 , 2G086EE09 , 2G086EE10 , 2H091FA02Y , 2H091FC30 , 2H091LA12 , 2H091LA16 , 4M106AA20 , 4M106BA04 , 4M106CA48 , 4M106DH03 , 4M106DH12 , 4M106DH31 , 4M106DH37 , 4M106DJ01 , 4M106DJ17 , 4M106DJ21

引用特許：

審査官引用 (3件)

光学的多層物体の傾きもしくは高さの検出方法及びその装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-097987 出願人：株式会社日立製作所
測長装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-331939 出願人：三菱電機株式会社
投影露光装置およびその方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-334599 出願人：株式会社日立製作所

前のページに戻る