特許

J-GLOBAL ID：200903075672651366

測長装置

発明者： 仲嶋 一 ,  鹿井 正博 ,  中島 利郎 ,  高嶋 和夫 ,  佐久間 浩和 ,  水谷 孝夫 ,  青木 幸男
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社
代理人 (1件)： 宮田 金雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-331939
公開番号（公開出願番号）：特開平10-170217
出願日： 1996年12月12日
公開日（公表日）： 1998年06月26日
要約：

【要約】【課題】 光学干渉形の測定装置において、干渉縞の繰返しピッチを任意の長さとする。また、原点復帰を必要とせずに対象物の位置の絶対測定を可能とする。【解決手段】 コヒーレントで互いに角度の異なる2本の平行光束を発する光源と、位置を測定する対象物に固定され、前記2本の平行光束を入射方向と同一方向に反射する反射器と、前記2本の平行光束を互いに平行な光軸上に合成する合波器と、前記合成された2本の光束の干渉強度を測定する光検出器を備えた。また、前記角度差が異なり、感度の異なる測長装置を複数組備えて、位置の絶対測定ができるようにした。

請求項（抜粋）：

コヒーレントで互いに角度の異なる2本以上の平行光束を発する光源と、位置を測定する対象物に固定され、上記2本以上の光束をそれぞれの入射方向と同一方向に反射する反射器と、上記2本以上の光束を互いに平行な光軸上に合成する合波器と、上記合成された2本以上の光束の干渉強度を測定する光検出器とを備えた測長装置。

IPC (2件)：

G01B 9/02 ,  G01B 11/00

FI (2件)：

G01B 9/02 ,  G01B 11/00 G

引用特許：

出願人引用 (4件)

• 光学式エンコーダ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-176848   出願人：松下電器産業株式会社
• 回転量検出装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-354664   出願人：株式会社ニコン
• 多重波長干渉計の多重光ビームを発生する方法および装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-258146   出願人：ヒューズ・エアクラフト・カンパニー
• 特公昭51-042495
  

審査官引用 (1件)

• 光学式エンコーダ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-176848   出願人：松下電器産業株式会社